因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.主元素含量：硅含量，锗含量，化合物主元素比例

2.杂质元素：金属杂质含量，非金属杂质含量，卤素杂质含量

3.掺杂浓度：受主浓度，施主浓度，掺杂均匀性

4.氧碳含量：氧含量，碳含量，氧碳比

5.微量元素：痕量金属，痕量硫，痕量磷

6.颗粒污染：颗粒数量，颗粒尺寸分布，颗粒元素组成

7.表面成分：表面元素分布，表面氧化层成分，表面污染物

8.薄膜成分：薄膜元素比例，薄膜杂质含量，薄膜厚度相关成分

9.界面成分：界面扩散元素，界面杂质富集，界面反应产物

10.晶体缺陷关联成分：缺陷富集元素，位错相关杂质，沉淀相成分

11.化学稳定性相关成分：可挥发组分，易迁移杂质，残留反应物

12.批次一致性：批次成分差异，批次杂质波动，批次掺杂一致性

检测范围

硅晶圆、砷化镓晶圆、碳化硅晶圆、氮化镓外延片、硅外延片、绝缘层薄膜、金属互连薄膜、介电薄膜、光刻胶残留、抛光液残留、刻蚀残留、封装焊料、引线键合材料、芯片基板、扩散源材料、靶材、前驱体、清洗液、抛光垫、晶体生长原料

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：用于痕量元素定量分析，灵敏度高

2.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于多元素含量测定，适合常量与微量

3.二次离子质谱仪：用于深度成分剖析，获取掺杂分布

4.电子探针显微分析仪：用于微区元素分析与成分成像

5.拉曼光谱仪：用于材料成分与结构相关分析，支持微区检测

6.傅里叶变换红外光谱仪：用于官能团与特定成分识别

7.气相色谱质谱联用仪：用于挥发性残留与有机杂质检测

8.扫描电子显微镜配能谱系统：用于颗粒形貌与元素组成分析

9.原子吸收光谱仪：用于特定金属元素定量检测

10.X射线光电子能谱仪：用于表面成分与化学态分析

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。