因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.气体纯度分析：总氢含量、主成分比例。

2.痕量水分检测：露点温度、含水量体积比。

3.颗粒物监测：微粒粒径分布、颗粒总数、单位体积尘埃数。

4.微量氧检测：氧气浓度、溶解氧含量。

5.氮气杂质分析：微量氮含量、总氮组分。

6.碳氧化物检测：一氧化碳浓度、二氧化碳浓度。

7.总烃含量分析：甲烷含量、非甲烷总烃浓度。

8.痕量金属元素：钠、钾、镁、钙、铁、铜等金属离子含量。

9.卤化物检测：氟化物、氯化物、总卤素浓度。

10.硫化物分析：硫化氢、总硫含量。

11.挥发性有机物：总挥发性有机化合物组分分析。

12.环境泄漏监测：氢气浓度爆炸下限百分比、实时扩散浓度。

13.酸碱性物质：酸性气体组分、碱性气体组分。

14.反应产物监测：工艺尾气残留氢分析、副产物组分。

15.密封性能评估：系统漏率、管路渗透性分析。

检测范围

高纯氢气、超纯氢气、电子级氢气、外延生长用氢气、退火工艺气、还原性混合气、气相沉积工艺气、离子注入载气、洁净室环境空气、工艺管路气体、气柜排放气、废气处理后气体、液氢蒸发气、钢瓶装氢气、管道输送氢气、反应腔室残余气、扩散炉工艺气、光刻辅助气、清洗工艺保护气、化学机械平坦化辅助气

检测设备

1.气相色谱仪：用于分析氢气中的微量氮、氧、一氧化碳等组分。

2.露点仪：测量气体中的水分含量，监控工艺管路干燥度。

3.激光尘埃粒子计数器：检测高纯气体中的微细颗粒物数量与粒径分布。

4.感应耦合等离子体质谱仪：分析氢气中痕量的金属元素杂质浓度。

5.氢火焰离子化检测器：用于测定气体中总烃及微量有机物含量。

6.还原气体分析仪：专门针对高纯气体中极低浓度的还原性杂质进行定量。

7.傅里叶变换红外光谱仪：识别并定量气体中的多种无机及有机化合物组分。

8.电化学传感器：实时监测作业环境中的氢气泄漏浓度情况。

9.热导检测器：基于不同气体热导率差异测定氢气的整体纯度。

10.质谱检漏仪：用于检测半导体供气系统及真空腔体的密封严密性。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。