因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.金属杂质检测：钠含量，钾含量，钙含量，铁含量，铜含量，镍含量，铝含量，铬含量

2.非金属杂质检测：碳含量，氧含量，氮含量，硫含量，磷含量，氯含量，氟含量

3.痕量元素分析：痕量硼，痕量砷，痕量锑，痕量钴，痕量锌，痕量锰，痕量钛

4.颗粒污染检测：颗粒数量，颗粒粒径分布，表面颗粒密度，微粒附着情况，异常颗粒识别

5.表面残留检测：表面离子残留，有机残留，无机残留，清洗残留，薄膜表面污染物

6.材料纯度检测：主成分纯度，总杂质含量，可挥发杂质，不挥发残留，元素纯度评估

7.掺杂元素检测：硼掺杂浓度，磷掺杂浓度，砷掺杂浓度，锑掺杂浓度，掺杂均匀性

8.气体杂质检测：水分含量，氧含量，烃类杂质，酸性杂质，碱性杂质，颗粒杂质

9.化学试剂杂质检测：酸液金属杂质，碱液金属杂质，溶剂残留，阴离子杂质，阳离子杂质

10.晶圆表面洁净度检测：表面金属污染，表面雾化缺陷，水痕残留，清洗后残留，表面异常附着物

11.薄膜杂质检测：薄膜金属杂质，薄膜非金属杂质，夹杂物分析，界面污染，膜层成分偏析

12.封装材料杂质检测：封装基材离子杂质，焊料杂质，粘结材料残留，树脂挥发物，填料杂质

检测范围

半导体硅材料、单晶硅棒、硅片、抛光片、外延片、晶圆、裸芯片、集成电路芯片、功率器件芯片、化合物半导体材料、光刻胶、电子特气、超纯水、清洗液、蚀刻液、镀膜材料、封装树脂、引线框架、键合材料、电子浆料

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：用于痕量金属元素和超痕量杂质成分分析，适合多元素同时测定。

2.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于中高含量无机元素检测，可进行多元素定量分析。

3.离子色谱仪：用于阴离子和阳离子杂质检测，适合清洗液、超纯水及表面提取液分析。

4.气相色谱仪：用于挥发性有机杂质和残留溶剂分析，可识别多种有机污染物。

5.液相色谱仪：用于有机添加剂、分解产物及部分难挥发杂质的分离与测定。

6.质谱分析仪：用于杂质定性鉴别和分子结构分析，适合复杂污染物溯源。

7.扫描电子显微镜：用于观察颗粒形貌、表面污染状态及微区缺陷特征。

8.能谱分析仪：用于颗粒和微区成分分析，可辅助判定污染物元素来源。

9.表面颗粒检测仪：用于晶圆及材料表面颗粒数量统计和粒径分布评估。

10.总有机碳分析仪：用于测定液体样品中的有机污染水平，适合超纯水和工艺介质洁净度评价。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。