因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.表面平整度：整体平整度，局部平整度，平整度变化量。

2.表面形貌：表面轮廓，微观起伏，形貌均匀性。

3.翘曲度：整体翘曲，边缘翘曲，角部翘曲。

4.厚度均匀性：厚度分布，厚度偏差，厚度稳定性。

5.表面粗糙度：算术平均粗糙度，最大高度，峰谷分布。

6.环境稳定性：温度作用平整度变化，湿度作用平整度变化，循环作用平整度变化。

7.残余应力影响：应力分布，变形响应，应力释放变化。

8.边缘质量：边缘平直度，边缘缺陷，边缘起伏。

9.表面缺陷：凹陷，凸起，微裂纹。

10.尺寸一致性：长度偏差，宽度偏差，厚度偏差。

11.平整度重复性：重复测量偏差，稳定性指标，重现性分析。

12.热循环影响：热循环前后平整度差异，热循环形貌变化，热循环残余变形。

检测范围

氮化硅陶瓷片、氮化硅基板、氮化硅薄片、氮化硅密封片、氮化硅支撑片、氮化硅垫片、氮化硅衬底片、氮化硅盖板、氮化硅耐磨片、氮化硅导热片、氮化硅绝缘片、氮化硅衬板、氮化硅基材片、氮化硅结构片、氮化硅精密片

检测设备

1.表面轮廓仪：获取表面轮廓曲线并计算平整度参数。

2.激光测距仪：测量表面高度差与局部起伏变化。

3.光学干涉仪：进行非接触面形测量与平整度分析。

4.平面度测量平台：提供稳定基准面用于整体平整度检测。

5.三维形貌测量仪：建立表面三维形貌并评估均匀性。

6.粗糙度测量仪：测定表面粗糙度与微观起伏指标。

7.恒温恒湿箱：模拟环境条件并进行平整度变化测试。

8.热循环试验箱：实施热循环并评估平整度稳定性。

9.厚度测量仪：测量厚度分布并分析均匀性。

10.应力测量装置：评估残余应力对平整度的影响。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。