因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.痕量金属杂质检测：铁、铜、钠、钾、钙、镁、铝、镍、铬、锌等杂质元素含量测定。

2.主成分含量检测：主体元素含量、有效成分纯度、元素配比、材料组成均匀性测定。

3.非金属杂质检测：氧、碳、氮、硫、氯、氟、磷、硼等非金属杂质分析。

4.微粒污染检测：颗粒数量、粒径分布、颗粒形貌、表面附着颗粒污染评估。

5.表面洁净度检测：表面残留物、表面污染物、表面离子残留、表面有机残留分析。

6.有机杂质检测：挥发性有机残留、半挥发性有机残留、碳氢化合物残留、有机污染物筛查。

7.晶体质量检测：晶体缺陷、位错密度、晶向偏差、晶格完整性评估。

8.掺杂浓度检测：掺杂元素种类、掺杂浓度、浓度分布、掺杂均匀性分析。

9.表面元素组成检测：表层元素种类、元素相对含量、深度分布、界面污染分析。

10.化学纯度检测：酸碱杂质、阴离子残留、阳离子残留、水分含量、蒸发残渣测定。

11.薄膜纯度检测：薄膜成分、杂质引入、膜层均匀性、界面扩散情况分析。

12.腐蚀与残留检测：腐蚀产物、工艺残留、清洗残留、刻蚀残留物分析。

检测范围

半导体硅材料、单晶硅片、多晶硅、外延片、硅晶圆、化合物半导体材料、砷化镓晶片、氮化镓材料、碳化硅晶片、光刻胶、显影液、刻蚀液、清洗液、抛光液、电子特气、溅射靶材、蒸镀材料、封装基板、引线框架、高纯试剂

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：用于痕量金属元素和超痕量杂质分析，适合多元素同时测定。

2.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于中低含量元素测定，可进行材料组成与杂质元素分析。

3.离子色谱仪：用于阴离子和阳离子残留检测，适合化学品及清洗液纯度分析。

4.气相色谱仪：用于挥发性有机物和有机残留分析，适合高纯化学品中有机杂质筛查。

5.高效液相色谱仪：用于非挥发性有机物分离与测定，适合复杂有机污染物分析。

6.扫描电子显微镜：用于观察颗粒形貌、表面污染及微观缺陷，支持局部区域形貌评估。

7.能谱分析仪：用于表面或微区元素组成分析，可辅助判断污染来源与杂质分布。

8.二次离子质谱仪：用于材料表面及深度方向的元素分布分析，适合掺杂和界面杂质检测。

9.原子力显微镜：用于表面粗糙度、微观形貌与局部缺陷检测，适合高洁净表面评估。

10.辉光放电质谱仪：用于固体材料中痕量与超痕量元素分析，适合高纯半导体材料纯度测定。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。