因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.表面离子污染检测：钠离子，钾离子，氯离子，氟离子，硫酸根离子，硝酸根离子。

2.体内杂质离子检测：硼，磷，砷，锑，钠，铁。

3.掺杂浓度分布检测：掺杂深度分布，浓度梯度，结区离子分布，扩散均匀性，注入一致性。

4.界面离子迁移检测：氧化层界面离子，钠离子迁移，钾离子迁移，偏压诱导迁移，热应力迁移。

5.封装材料离子残留检测：氯离子残留，溴离子残留，钠离子残留，钾离子残留，弱有机酸根离子，助焊残留离子。

6.湿法制程离子污染检测：清洗液离子含量，漂洗水离子残留，腐蚀液杂质离子，显影液离子背景，剥离液离子残留。

7.薄膜层离子组成检测：介质层杂质离子，阻挡层离子分布，钝化层离子残留，金属层表面离子，膜层界面离子异常。

8.高纯化学品离子检测：痕量金属离子，阴离子杂质，阳离子杂质，批次离子稳定性，储存过程离子变化。

9.超纯水离子质量检测：痕量钠离子，痕量钙离子，痕量镁离子，氯离子，硝酸根离子，硫酸根离子。

10.失效样品离子分析：腐蚀相关离子，漏电相关离子，击穿区域离子富集，空洞周边离子异常，失效点污染离子。

11.洁净环境离子沉降检测：空气沉降离子，载具表面离子，工装表面离子，操作接触离子，环境背景离子。

12.离子提取液检测：可溶性离子总量，阴离子组成，阳离子组成，提取效率评估，离子背景扣除。

检测范围

硅晶圆、外延片、光刻胶、掩膜版、氧化层样品、氮化层样品、金属化样品、介质薄膜、芯片裸片、封装芯片、引线框架、封装基板、键合线材料、塑封料、底部填充材料、导电胶、清洗液、显影液、剥离液、超纯水

检测设备

1.离子色谱仪：用于分离和测定样品提取液中的阴离子与阳离子，适合痕量可溶性离子分析。

2.二次离子质谱仪：用于检测材料表层及深度方向的离子组成与分布，可开展微区离子分析和深度剖析。

3.电感耦合等离子体质谱仪：用于测定痕量金属离子含量，适合高纯化学品、超纯水及提取液分析。

4.辉光放电质谱仪：用于固体样品中痕量元素和离子相关杂质分析，适合体内成分筛查。

5.飞行时间质谱仪：用于复杂离子碎片和表面污染物组成分析，可辅助识别污染来源。

6.表面电位分析仪：用于评估离子污染引起的表面电荷变化，辅助判断界面离子迁移风险。

7.热脱附分析装置：用于研究受热过程中挥发性离子相关残留的释放行为，辅助工艺残留评估。

8.超纯水制样装置：用于样品提取、稀释和空白控制，降低前处理过程中的离子背景干扰。

9.洁净提取装置：用于对晶圆、封装材料及工装表面进行离子萃取，保证提取过程稳定可控。

10.恒温恒湿试验装置：用于模拟温湿环境对离子迁移和材料可靠性的影响，配合开展环境应力评估。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。