因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

纯度分析：

• 总杂质含量：氧气浓度≤0.5ppm、水分含量≤1.0ppm（参照ISO6141）
• 特定杂质检测：金属离子浓度≤0.1ppb、挥发性有机化合物（VOCs）≤0.2ppm

• 密度测定：标准密度偏差±0.01g/cm³
• 沸点测试：沸点范围偏差≤±0.5°C

• 反应性指数：反应速率常数≥0.5s⁻¹
• 腐蚀性等级：材料腐蚀速率≤0.01mm/年

• 成分比例：主气体纯度≥99.999%
• 副产物检测：副产物浓度≤0.1ppm

• 长期稳定性：储存期≥12个月无降解
• 压力测试：临界压力偏差≤±5kPa

• LD50值：半数致死量≥1000ppm
• 暴露限制：允许暴露限值≤1ppm

• 材料兼容性：无化学反应迹象
• 密封性评估：密封失效概率≤0.001%

• 泄漏率：最大泄漏率≤1×10⁻⁶sccm
• 密封完整性：无可见泄漏点

• 热分解点：分解温度≥200°C
• 热循环测试：循环次数≥1000次无变化

• 导电性：电导率偏差±0.5%
• 电池兼容性：无电极腐蚀

检测范围

1.硅烷气体：高纯度硅烷用于化学气相沉积，重点检测金属杂质含量和水分残留

2.磷烷气体：n型掺杂应用，侧重水分含量和挥发性有机物检测

3.硼烷气体：p型掺杂工艺，检测腐蚀性等级和稳定性

4.氨气：氮化处理气体，关注杂质浓度和反应性指数

5.氩气：载气系统，检测氧气残留和密度偏差

6.氢气：还原剂气体，重点测试泄漏率和纯度

7.氧气：氧化过程用气，检测水分含量和兼容性

8.氯气：蚀刻气体应用，评估腐蚀性和毒性

9.氟化物气体：如六氟化硫，检测分解产物和热稳定性

10.混合气体：如硅烷/氢气混合物，分析成分比例和电化学性能

检测方法

国际标准：

• ISO6141:2015气体分析校准用混合气体制备（纯度校准差异）
• ASTMD5504-12气体色谱法测定气体纯度（杂质检测限差异）
• ISO19229:2015气体纯度分析（方法适用范围差异）

• GB/T8980-2022气体中微量水分的测定（检测精度差异）
• GB/T14850-2020气体分析词汇（术语定义差异）
• GB/T5275.1-2019气体分析校准用混合气（制备方法差异）

检测设备

1.气相色谱仪：型号7890B（检测限0.1ppb，分辨率0.01ppm）

2.质谱仪：型号ISQ7000（质量范围1-1000Da，精度±0.001%）

3.傅里叶变换红外光谱仪：型号SpectrumTwo（波长范围4000-400cm⁻¹，信噪比10000:1）

4.露点仪：型号S8000（测量范围-80°C至+20°C，精度±0.1°C）

5.纯度分析仪：型号VA-3000（杂质检测限0.01ppb，响应时间<1s）

6.密度计：型号DMA4500M（密度范围0-3g/cm³，精度±0.0001g/cm³）

7.沸点测定仪：型号K23200（温度范围-50°C至300°C，控制精度±0.1°C）

8.腐蚀性测试仪：型号Interface1010E（电流范围±1A，电位分辨率0.1mV）

9.泄漏检测仪：型号ECOTECE3000（泄漏率检测限1×10⁻⁷sccm，响应频率1Hz）

10.热分析仪：型号SDTQ600（温度范围室温至1500°C，升温速率0.1-100°C/min）

11.电化学工作站：型号VMP3（电位范围±10V，电流范围±1A）

12.毒性测试设备：型号Draeger（测量范围0-1000ppm，精度±1ppm）

13.稳定性试验箱：型号KBF720（温度范围-40°C至+150°C，湿度控制10-95%）

14.兼容性测试仪：型号自制装置（压力范围0-10MPa，材料兼容性评估）

15.压力测试设备：型号CPC8000（压力范围0-100kPa，精度±0.01kPa）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。