因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

主成分纯度检测：

• 体积分数测定：主成分体积分数（≥99.999%，参照SEMIC3.36）、摩尔分数偏差（±0.0005%）
• 质量分数验证：主成分质量分数（≥99.9995%）、密度偏差（±0.001g/L）

• 过渡金属：铁（Fe）含量（≤1ppb）、铜（Cu）含量（≤0.5ppb）、镍（Ni）含量（≤0.8ppb）
• 碱金属：钠（Na）含量（≤0.2ppb）、钾（K）含量（≤0.3ppb）、锂（Li）含量（≤0.1ppb）
• 稀有金属：铝（Al）含量（≤0.8ppb）、钛（Ti）含量（≤0.5ppb）、锆（Zr）含量（≤0.3ppb）

• 硅氧化物：二氧化硅（SiO₂）含量（≤2ppb）、一氧化硅（SiO）含量（≤1ppb）
• 碳氧化物：一氧化碳（CO）含量（≤5ppb）、二氧化碳（CO₂）含量（≤10ppb）
• 氮氧化物：一氧化氮（NO）含量（≤3ppb）、二氧化氮（NO₂）含量（≤2ppb）

• 烃类：甲烷（CH₄）含量（≤3ppb）、乙烷（C₂H₆）含量（≤2ppb）、乙炔（C₂H₂）含量（≤1ppb）
• 含氧有机：丙酮（C₃H₆O）含量（≤1ppb）、甲醇（CH₃OH）含量（≤0.5ppb）、乙醇（C₂H₅OH）含量（≤0.8ppb）
• 含氮有机：氨（NH₃）含量（≤2ppb）、甲基胺（CH₃NH₂）含量（≤1ppb）

• 氟化物：氟化氢（HF）含量（≤0.3ppb）、三氟化氮（NF₃）含量（≤0.5ppb）
• 氯化物：氯化氢（HCl）含量（≤0.5ppb）、氯气（Cl₂）含量（≤0.2ppb）
• 溴化物：溴化氢（HBr）含量（≤0.4ppb）、溴气（Br₂）含量（≤0.1ppb）

• 露点温度：露点温度（≤-80℃，参照ASTMD6304）、水质量分数（≤1ppb）
• 卡尔费休滴定：水分含量（≤0.5ppb，重复性±0.05ppb）

• 颗粒数量：≥0.1μm颗粒数（≤10个/mL）、≥0.2μm颗粒数（≤5个/mL）
• 颗粒尺寸分布：D10（≤0.15μm）、D50（≤0.2μm）、D90（≤0.3μm）

• 惰性气体：氦气（He）含量（≤10ppb）、氩气（Ar）含量（≤5ppb）、氖气（Ne）含量（≤3ppb）
• 活性气体：氧气（O₂）含量（≤2ppb）、氮气（N₂）含量（≤5ppb）、氢气（H₂）含量（≤3ppb）

• 氢离子浓度：pH值（6.5~7.5，参照GB/T14636）、酸雾含量（≤0.1ppb）
• 碱金属离子：钠（Na⁺）含量（≤0.2ppb）、钾（K⁺）含量（≤0.3ppb）

• 挥发分含量：≤0.001%（105℃，2h）、分解产物（如SiH₄分解为Si的量≤0.1ppb）
• 储存稳定性：30天内纯度变化（≤0.0005%）、杂质增量（≤0.2ppb）

检测范围

1.硅基特气：涵盖硅烷（SiH₄）、二氯硅烷（SiH₂Cl₂）、四氯化硅（SiCl₄）、三氯氢硅（SiHCl₃），重点检测氯含量（≤0.5ppb）与金属杂质（Fe≤1ppb）

2.光刻胶配套特气：包括氦气（He）、氮气（N₂）、氩气（Ar）、二氧化碳（CO₂），侧重水分（≤1ppb）与有机杂质（CH₄≤3ppb）

3.掺杂特气：涵盖磷烷（PH₃）、砷烷（AsH₃）、硼烷（B₂H₆）、锑烷（SbH₃），重点检测毒性杂质（AsH₃分解产物≤0.1ppb）与纯度（≥99.999%）

4.蚀刻特气：包括氟气（F₂）、三氟化氮（NF₃）、六氟化硫（SF₆）、氯化氢（HCl），侧重卤化物（HF≤0.3ppb）与颗粒度（≥0.1μm颗粒数≤10个/mL）

5.CVD特气：涵盖甲烷（CH₄）、乙烷（C₂H₆）、乙炔（C₂H₂）、乙烯（C₂H₄），重点检测有机杂质（丙酮≤1ppb）与纯度（≥99.999%）

6.氧化特气：包括氧气（O₂）、臭氧（O₃）、一氧化二氮（N₂O）、二氧化氮（NO₂），侧重气相杂质（O₂≤2ppb）与稳定性（30天纯度变化≤0.0005%）

7.还原特气：涵盖氢气（H₂）、一氧化碳（CO）、氨气（NH₃）、肼（N₂H₄），重点检测氧含量（≤2ppb）与水分（≤1ppb）

8.载气特气：包括氦气（He）、氩气（Ar）、氮气（N₂）、氖气（Ne），侧重纯度（≥99.999%）与颗粒度（≥0.1μm颗粒数≤10个/mL）

9.前驱体特气：涵盖三甲基铝（TMA）、三乙基镓（TEGa）、三甲基铟（TMI）、二茂铁（Fe(C₅H₅)₂），重点检测金属杂质（Al≤0.8ppb）与分解产物（≤0.1ppb）

10.清洗特气：包括氯气（Cl₂）、氯化氢（HCl）、氟化氢（HF）、溴化氢（HBr），侧重酸碱性杂质（pH6.5~7.5）与纯度（≥99.999%）

11.氧化腔特气：涵盖氧气（O₂）、臭氧（O₃）、一氧化二氮（N₂O）、水蒸气（H₂O），重点检测氧含量（≤2ppb）与水分（≤1ppb）

12.显影配套特气：包括氮气（N₂）、压缩空气（CleanDryAir）、二氧化碳（CO₂），侧重颗粒度（≥0.1μm颗粒数≤10个/mL）与有机杂质（≤1ppb）

检测方法

国际标准：

• ISO14910:2021气体分析—痕量杂质测定—气相色谱法（用于烃类、卤化物检测）
• ASTMD7673-20半导体级气体中金属杂质的电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS，检测限≤0.01ppb）
• SEMIC3.36-0903电子工业用气体—硅烷中杂质含量的测定（气相色谱-质谱联用法）
• ISO11155-2:2019颗粒计数—光散射法（用于0.1μm~10μm颗粒检测）
• ASTMD6304-19气体中水分含量的测定—激光露点法（测量范围-100℃~+20℃）

• GB/T37186-2018电子工业用气体硅烷（主成分纯度与氯含量检测）
• GB/T34235-2017电子工业用气体痕量水分的测定激光露点法（与ASTMD6304的差异：样品前处理采用冷阱富集）
• GB/T14636-2007电子工业用气体酸度的测定（pH值范围6.0~8.0）
• GB/T28124-2011气体中颗粒含量的测定光散射法（颗粒尺寸范围0.1μm~10μm）
• GB/T16943-2009电子工业用气体杂质含量的测定气相色谱法（与ISO14910的差异：色谱柱采用GDX-105柱）

检测设备

1.气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：Agilent7890A-5975C（检测限≤0.1ppb，分辨率≥5000，适用于烃类、有机杂质检测）

2.电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）：PerkinElmerNexION350X（金属杂质检测限≤0.01ppb，动态范围10^9，适用于Fe、Cu、Al等检测）

3.激光露点仪：EdwardsWDMS（测量范围-100℃~+20℃，精度±0.5℃，适用于水分含量检测）

4.离子色谱仪（IC）：DionexICS-6000（阴离子检测限≤0.05ppb，柱温稳定性±0.1℃，适用于Cl⁻、F⁻等卤化物检测）

5.傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）：BrukerTensor27（波数范围4000cm⁻¹~400cm⁻¹，分辨率≤0.5cm⁻¹，适用于CO、CO₂等氧化物检测）

6.颗粒计数器：PMSLasairII1100（颗粒尺寸范围0.1μm~10μm，计数效率≥95%，适用于颗粒度检测）

7.气相色谱仪（GC）：ShimadzuGC-2030（配备电子捕获检测器（ECD），检测限≤0.05ppb，适用于卤化物、惰性气体检测）

8.原子吸收光谱仪（AAS）：VarianAA240FS（火焰法检测限≤0.01mg/L，石墨炉法≤0.001mg/L，适用于金属杂质辅助验证）

9.质谱仪（MS）：ThermoFisherTSQQuantumXLS（扫描速度≥10000u/s，灵敏度≥1e6counts/ppm，适用于痕量杂质定性）

10.高效液相色谱仪（HPLC）：WatersAcquityUPLC（柱温范围5℃~95℃，流速精度±0.1%，适用于有机污染物分离）

11.激光诱导击穿光谱仪（LIBS）：OceanOpticsLIBS-2000（检测限≤1ppm，分析时间≤1s，适用于金属杂质快速筛查）

12.热导检测器（TCD）：Agilent5890II（线性范围10^6，灵敏度≥1000mV·mL/mg，适用于主成分纯度检测）

13.电子自旋共振波谱仪（ESR）：BrukerElexsysE500（磁场范围0~2.5T，分辨率≤0.001mT，适用于自由基杂质检测）

14.差示扫描量热仪（DSC）：TAInstrumentsQ2000（温度范围-180℃~700℃，热量精度±0.1μW，适用于稳定性指标检测）

15.比表面积分析仪（BET）：MicromeriticsTriStarII3020（比表面积范围0.01m²/g~5000m²/g，精度±1%，适用于颗粒表面特性辅助分析）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。