因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

粒子浓度监测：

• 单位体积计数：浓度范围0.1-100000个/m³（参照ISO14644-1）
• 实时波动分析：采样频率≥1Hz，浓度变化率≤5%/min

• 分级计数：0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm分级（ISO14644-1）
• 累积分布参数：D50、D90粒径值，偏差≤±10%

• 沉降速率：单位mm/min，范围0.01-10mm/min
• 表面沉积密度：单位个/cm²，检测限≤10个/cm²

• 元素组成：SEM-EDS分析，检测限0.1wt%（参照ISO22309）
• 有机物鉴定：GC-MS检测，挥发物浓度≥0.1ppb

• 静电特性：表面电荷密度±1000μC/m²
• 形态学分类：光学显微镜形态鉴别，粒径分辨率0.5μm

• 细菌计数：CFU/m³，检测限≤1CFU/m³（ISO14698-1）
• 真菌孢子鉴定：种类识别率≥95%

• 相对湿度相关性：RH30-70%范围，波动≤±5%
• 温度波动影响：ΔT≤2°C，粒子浓度变化率≤3%

• 风速分布：0.25-0.45m/s，均匀度≥85%
• 湍流强度：单位%，范围0-20%

• 表面粒子残留：粒径≥0.5μm，残留量≤5个/cm²
• 擦拭采样回收率：≥90%，偏差±5%

• 静电电压：范围±10kV，平衡时间≤1s
• 离子化效率：中和效率≥99.9%

检测范围

1.洁净室空气悬浮粒子：粒径0.1-5μm颗粒物，检测重点为实时浓度波动与尺寸分级，预防空气传播污染。

2.晶圆载体表面粒子：硅片承载器表面残留颗粒，检测重点为表面沉积密度与元素组成，确保无金属离子污染。

3.设备内部尘埃积累：制造设备如蚀刻机内部尘埃及碎屑，检测重点为沉降速率与化学成分，评估设备清洁度。

4.人员防护服附着粒子：洁净服表面微尘，检测重点为细菌计数与静电特性，控制人员带入污染源。

5.化学试剂残留颗粒：光刻胶等试剂挥发物，检测重点为有机物鉴定与浓度监测，防止试剂挥发污染。

6.光刻胶微尘：光刻工艺中胶体颗粒，检测重点为粒径分布与形态学分类，优化工艺参数。

7.金属离子污染：铜铝等金属微粒，检测重点为元素组成分析与来源追踪，降低电路短路风险。

8.包装材料碎片：晶圆包装材料脱落微粒，检测重点为表面清洁度与尺寸分级，保障运输过程洁净。

9.冷却液悬浮物：冷却系统液体中颗粒，检测重点为沉降分析与微生物检测，防止系统堵塞。

10.地板和墙壁沉积粒子：车间表面累积尘埃及纤维，检测重点为沉积密度与温湿度影响，维护环境稳定性。

检测方法

国际标准：

• ISO14644-1:2015洁净室悬浮粒子浓度分级方法
• ISO14644-2:2015洁净室监测要求与采样点布局
• ISO14698-1:2003生物污染控制与检测程序
• ISO21501-4:2018光散射法粒子计数器校准
• ISO15900:2020气溶胶粒径分布测定方法

• GB/T16292-2010医药工业洁净室悬浮粒子测试方法
• GB/T25915-2020洁净室及相关受控环境分级与监测
• GB/T18801-2022空气净化器性能测试方法
• GB/T15432-2023环境空气颗粒物浓度测定
• GB/T20247-2019光学显微镜粒子形态分析方法

检测设备

1.激光粒子计数器：MetOne237B型（粒径范围0.1-5μm，流量28.3L/min）

2.扫描电子显微镜：JEOLJSM-7900F型（分辨率1.0nm，放大倍数20-1000000x）

3.气相色谱-质谱联用仪：Agilent8890/5977B型（检测限0.1ppb，质量范围10-1000m/z）

4.光学粒子计数器：CLIMETCI-5000型（粒径通道6级，采样频率1Hz）

5.静电电压计：Trek520型（测量范围±20kV，精度±1%）

6.微生物采样器：MAS-100型（流量100L/min，培养皿直径90mm）

7.风速计：KANOMAX6162型（范围0-5m/s，精度±0.02m/s）

8.温湿度记录仪：RotronicHC2A-S型（温度范围-40-85°C，湿度范围0-100%RH）

9.表面粒子检测仪：PSL-100型（擦拭采样面积10cm²，回收率≥95%）

10.离子风机：SIMCOFMX-004型（平衡时间≤1s，覆盖范围1m²）

11.气溶胶发生器：TSI8026型（粒径输出0.02-5μm，浓度可调）

12.尘埃沉降板：标准90mm培养皿（沉积时间24h，分析显微镜）

13.粒度分析仪：MalvernMastersizer3000型（粒径范围0.01-3500μm，精度±0.5%）

14.紫外可见分光光度计：ShimadzuUV-2600型（波长范围190-1100nm，带宽1nm）

15.数据采集系统：NIcDAQ-9189型（通道数8，采样率100kHz）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。