因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

粒子浓度检测：

• 静态浓度：测量阈值（≥0.1μm颗粒）、平均浓度（颗粒/m³，参照ISO14644-1）
• 动态浓度：实时变化率（±5%误差）、峰值浓度（≤100颗粒/m³）

• 粒径谱：尺寸分段（0.1-0.5μm、0.5-5μm分段计数）、分布均匀性（变异系数≤10%）
• 累积分布：D50值（中位粒径≥0.3μm）、D90值（上限粒径≤5μm）

• 光学计数：检出限（0.1μm颗粒）、计数精度（误差±2%）
• 电迁移计数：迁移率（0.001-1cm²/Vs）、分辨率（粒径差≥0.05μm）

• 空气采样：流量控制（28.3L/min±1%）、采样时间（≥1小时）
• 表面采样：擦拭效率（回收率≥95%）、滤膜孔径（0.22μm）

• 温湿度控制：温度范围（20-25℃±0.5℃）、相对湿度（45-55%±3%）
• 气流速度：层流速度（0.3-0.5m/s±0.05m/s）、湍流指数（≤0.1）

• 沉降速率：测量值（单位：mm/h）、沉降时间（≤24小时）
• 沉降分布：表面覆盖率（≤0.01颗粒/mm²）、重力影响因子（校正系数±0.05）

• 有机物分析：碳含量（检测限0.1μg/m³）、挥发性有机物（VOCs种类≥5）
• 无机物检测：金属离子（Fe、Cu含量≤0.1ppb）、硅酸盐残留（SiO₂占比≥50%）

• 微生物计数：细菌总数（≤1CFU/m³）、真菌孢子（检出限100孢子/m³）
• 生物活性：ATP生物发光值（RLU≤100）、代谢产物（检测限0.01μg/L）

• 散射系数：测量值（单位：1/m）、角度分辨率（±1°）
• 吸收特性：吸光度（0.01-1.0AU）、透射率（≥90%）

• 浓度变异：标准差（≤10%均值）、置信区间（95%CI）
• 相关性分析：粒径-浓度回归（R²≥0.95）、污染源识别（主成分分析）

检测范围

1.封装间空气样本：采集洁净室或封装线悬浮粒子，重点实时浓度监测与粒径分布分析，确保空气洁净度Class1标准。

2.半导体晶圆表面：检测晶圆加工前后微粒沉积，侧重沉降粒子计数与化学残留鉴定，防止光刻缺陷。

3.封装材料表面：包括环氧树脂、陶瓷基板，重点擦拭采样与粒子黏附率测量，评估材料清洁度。

4.洁净室过滤器：HEPA/JianCePA过滤介质，检测粒子穿透率（≤0.001%）、压降变化，确保过滤效率达标。

5.操作工具与设备：机械臂夹具、搬运工具，重点表面微粒残留与生物污染评估，控制人为污染源。

6.包装与储存材料：防静电袋、载具，检测开袋后粒子释放量、静电吸附影响，保障运输洁净度。

7.液体介质：清洗剂、蚀刻液，侧重悬浮粒子浓度（≤10颗粒/mL）、沉降分析，防止液体污染。

8.气体供应系统：惰性气体管道，检测气流中微粒浓度（≤1颗粒/L）、粒径分布，确保供气纯净。

9.人体接触表面：手套、工作服，重点生物粒子计数与脱落率，控制操作员引入污染。

10.成品封装器件：封装后芯片，检测表面微粒密度（≤0.1颗粒/mm²）、沉降影响，验证最终产品可靠性。

检测方法

国际标准：

• ISO14644-1:2015洁净室及相关受控环境粒子浓度分级
• ASTMF312-08微电子环境空气粒子计数方法
• ISO21501-4:2018光散射法粒子尺寸分析
• IESTRPCC001.3HEPA过滤器检测规程
• ISO17025:2017检测实验室能力通用要求
• ISO14698-1:2003洁净室生物污染控制

• GB/T16292-2010医药工业洁净室悬浮粒子测试方法（与国际ISO14644-1采样点差异：GB采用五点网格法，ISO为多点随机）
• GB/T18801-2015空气净化器性能测试（计数方法差异：GB优先激光法，ISO允许电迁移法）
• GB50073-2013洁净厂房设计规范（粒径范围差异：GB覆盖0.1-100μm，ISO限定0.1-5μm）
• GB/T5750-2023生活饮用水标准检验方法（沉降分析差异：GB指定重力沉降法，ASTM使用离心法）
• GB/T18883-2022室内空气质量标准（生物污染差异：GB采用培养计数，ISO支持ATP生物发光）
• GB50591-2010洁净室施工及验收规范（数据统计差异：GB要求95%置信度，ISO为99%）

检测设备

1.激光粒子计数器：LighthouseSolair3100型（粒径范围0.1-10μm，流量28.3L/min±1%）

2.扫描电子显微镜：HitachiSU5000型（分辨率1nm，放大倍率20-800,000x）

3.光散射粒径分析仪：MalvernMastersizer3000型（尺寸范围0.01-3500μm，精度±0.5%）

4.电感耦合等离子体质谱仪：ThermoiCAPTQ型（检测限0.1ppt，元素覆盖75+）

5.环境监测仪：TSIAeroTrak9306型（温湿度精度±0.1℃/±1%RH，气流速度0-10m/s）

6.空气采样泵：SKCAirChekXR5000型（流量范围1-5000mL/min，误差±2%）

7.电子天平：MettlerToledoXPR205型（量程0-200g，精度0.01mg）

8.紫外分光光度计：PerkinElmerLambda365型（波长范围190-1100nm，分辨率0.1nm）

9.生物粒子检测器：bioMérieuxScanStation型（ATP检测限1RLU，培养时间≤48小时）

10.数据记录系统：Keysight34972A型（通道数22，采样率1Hz-100kHz）

11.温湿度传感器：VaisalaHMP110型（范围-40-80℃，精度±0.1℃）

12.气流速度计：KanomaxClimomaster6501型（范围0-50m/s，分辨率0.01m/s）

13.离心沉降仪：BeckmanCoulterLS230型（转速100-15,000rpm，沉降时间可调）

14.粒度标准品：NISTSRM1963a型（粒径0.1-10μm，校准误差±1%）

15.光学显微镜：OlympusBX53型（放大倍率50-1000x，分辨率0.2μm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。