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微透镜阵列检测

原创版权 关键字：微透镜阵列测试仪器,微透镜阵列项目报价,微透镜阵列测试标准 相关: 发布时间： 2025-06-09 12:27:01

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因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

几何尺寸检测：

  • 阵列周期性：间距公差±0.5μm，参照ISO10110-7
  • 透镜曲率半径：测量范围0.1-10mm，精度优于±0.1%
  • 表面高度轮廓：PV值≤0.2μm，RMS值≤0.05μm
光学性能检测：
  • 焦距测量：焦距一致性±1%，参照ISO14997
  • 调制传递函数：MTF≥0.8@50lp/mm
  • 波前像差分析：RMS波差≤λ/10（λ=632.8nm）
表面质量检测：
  • 粗糙度检测：Ra≤5nm，Sa≤10nm
  • 缺陷检测：瑕疵尺寸≤1μm，密度≤10/mm²
材料属性检测：
  • 折射率均匀性：偏差≤±0.001
  • 透光率测量：可见光波段≥95%
  • 吸收系数：UV-IR范围≤0.1cm⁻¹
环境适应性检测：
  • 热循环测试：-40℃至+85℃，循环100次无失效
  • 湿度稳定性：85%RH，48小时性能变化≤2%
阵列一致性检测：
  • 单元间均匀性：焦距标准差≤1%
  • 位置精度：偏移量≤0.2μm
焦距稳定性检测：
  • 温度漂移：Δf/ΔT≤0.01%/℃
  • 机械振动测试：5-2000Hz，振幅1mm无变形
像差分析检测：
  • 球差校正：Zernike系数Z₄≤0.05λ
  • 畸变测量：畸变量≤0.1%
热膨胀系数检测：
  • CTE测量：范围1-50ppm/K，精度±0.1ppm/K
  • 应力分析：残余应力≤10MPa
耐久性测试：
  • 寿命评估：加速老化后MTF衰减≤5%
  • 耐磨性：循环摩擦100万次表面变化≤2nm

检测范围

1.聚合物基微透镜阵列：包括PMMA、PC材料，重点检测热变形温度和折射率漂移

2.玻璃基微透镜阵列：硼硅酸盐玻璃等，侧重表面硬度和化学稳定性检测

3.硅基微透镜阵列：单晶硅衬底，核心检测项目为晶格缺陷和红外透射率

4.金属基微透镜阵列：铝或铜基底，重点检测导热系数和氧化层厚度

5.复合基微透镜阵列：陶瓷-聚合物复合，检测界面粘结强度和光学均匀性

6.柔性微透镜阵列：PDMS等弹性材料，核心检测弯曲疲劳和焦距恢复性

7.红外微透镜阵列：锗或硫化锌基材，侧重中远红外波段透过率和热像差

8.UV微透镜阵列：熔融石英材质，检测紫外损伤阈值和辐射稳定性

9.波导集成微透镜：硅光芯片集成，重点检测耦合效率和插入损耗

10.3D打印微透镜阵列：光敏树脂打印，核心检测层间分辨率和打印精度

检测方法

国际标准：

  • ISO10110-7:2019光学元件表面缺陷检测方法
  • ISO14997:2012光学表面轮廓测量方法
  • ASTME2544-11微透镜阵列焦距测试标准
国家标准：
  • GB/T11168-2021微光学元件几何尺寸测量方法
  • GB/T18901.1-2020光学材料透光率测试规程
  • GB/T20235-2023微透镜阵列环境试验方法
方法差异说明：ISO标准要求激光干涉仪精度达0.1nm，而GB标准允许0.5nm；ASTMMTF测试采用接触式探针，GB使用非接触光学法；ISO热循环测试循环次数为100次，GB标准为50次但温度范围更宽。

检测设备

1.激光干涉仪：ZygoVerifireMST（波长632.8nm，精度0.1nm，重复性±0.05nm）

2.白光干涉仪：BrukerContourGT-X（垂直分辨率0.01nm，扫描速度10μm/s）

3.轮廓仪：TaylorHobsonFormTalysurf（Ra测量范围0.001-100μm，精度±1%）

4.光谱分析仪：AgilentCary7000（波长范围190-3300nm，分辨率0.05nm）

5.显微镜系统：OlympusBX53（放大倍率1000X，NA0.95，CCD分辨率5MP）

6.环境测试箱：ESPECPL-3（温度范围-70℃至+180℃，湿度范围10-98%RH）

7.拉力测试机：ShimadzuAGS-X（载荷范围0.1N-100kN，精度±0.5%）

8.热分析仪：PerkinElmerDSC8000（温度范围-170℃至+730℃，升温速率0.01-100℃/min）

9.光学平台：ThorlabsBreadboard（尺寸1200×800mm，隔离振动≤0.5μm）

10.焦距测量仪：OptikosLensCheck（测量范围1-500mm，精度±0.1%）

11.像质分析仪：ImageEngineeringiQ-Lens（MTF测量频率1-200lp/mm，误差≤2%）

12.表面粗糙度仪：MitutoyoSJ-410（测量参数Ra/Rz，范围0.005-160μm）

13.分光光度计：HitachiUH5700（光谱带宽0.1nm，扫描速度2400nm/min）

14.激光扫描显微镜：KeyenceVK-X3000（三维成像，Z轴分辨率0.01μm）

15.温度湿度箱：ClimatsC340（控温精度±0.1℃，湿度稳定性±1%RH）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

本文链接：https://www.yjser.com/huanjingjiance/20920.html

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