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石英套管检测

原创版权 关键字:石英套管测试仪器,石英套管测试周期,石英套管测试标准 相关: 发布时间: 2025-06-05 09:06:35

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因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

物理性能检测:

  • 尺寸精度:外径公差(±0.05mm)、壁厚均匀性(偏差≤0.02mm)(参照ISO 1101)
  • 密度测定:标准值(2.2g/cm³)、偏差率(±0.5%)
化学纯度检测:
  • SiO2含量:纯度(≥99.99%)、杂质总量(≤100ppm)
  • 元素分析:铁含量(Fe≤5ppm)、碱金属残留(Na+K≤10ppm)(参照ASTM E1479)
热性能检测:
  • 热膨胀系数:线性膨胀(5.5×10⁻⁷/°C)、温度范围(-50°C至1000°C)
  • 软化点测试:临界温度(≥1683°C)、热稳定性(100h无变形)
光学性能检测:
  • 透光率:可见光波段(≥99.5%)、紫外透射(254nm处≥90%)
  • 折射率测定:标准值(1.458)、偏差(±0.001)
机械性能检测:
  • 抗弯强度:最小值(≥50MPa)、断裂韧性(KIC≥0.7MPa·m⁰·⁵)
  • 硬度测试:莫氏硬度(≥7级)、维氏硬度(HV≥800)
表面质量检测:
  • 粗糙度:表面Ra值(≤0.1μm)、缺陷密度(≤1个/cm²)
  • 裂纹检测:无可见裂纹、微孔评级(ASTM F1241)
电性能检测:
  • 介电常数:测量值(3.78)、损耗角(≤0.0001)
  • 击穿电压:最小值(≥40kV/mm)、绝缘电阻(≥10¹²Ω)
耐腐蚀性检测:
  • 酸腐蚀测试:腐蚀率(≤0.01mg/cm²)、耐HF性能(24h无变化)
  • 碱腐蚀测试:NaOH溶液腐蚀(失重≤0.5%)
辐射性能检测:
  • UV稳定性:透射衰减(≤2% after 1000h)、X射线屏蔽率(≥95%)
  • γ射线耐受:剂量率(100kGy无变色)
长期老化检测:
  • 热循环测试:循环次数(≥1000次)、性能保持率(≥98%)
  • 应力松弛:残余应力(≤5MPa)、疲劳寿命(10⁷ cycles)

检测范围

1. 高纯石英套管: 用于半导体制造,重点检测SiO2纯度和热膨胀系数,确保高温下无污染。

2. 掺杂石英套管: 掺钛或掺铈类型,侧重掺杂均匀性和辐射稳定性测试。

3. 熔融石英套管: 高温熔制产品,检测热冲击抗力和表面光洁度。

4. 合成石英套管: 化学气相沉积制程,重点验证合成缺陷和密度一致性。

5. 涂层石英套管: 表面镀膜类型,检测涂层附着力和耐腐蚀性能。

6. 大尺寸石英套管: 直径>100mm产品,侧重尺寸公差和机械强度均匀性。

7. 微型石英套管: 光纤应用微管,重点检测微观结构和透光率精度。

8. 高温应用套管: 炉管类产品,检测软化点和长期热老化性能。

9. 真空系统套管: 真空密封元件,侧重气密性测试和电绝缘参数。

10. 医疗用石英套管: 生物器械组件,检测生物相容性和无菌性能。

检测方法

国际标准:

  • ISO 1101:2017 产品几何技术规范(GPS)尺寸公差
  • ASTM E1479-16 电感耦合等离子体原子发射光谱法元素分析
  • ISO 11357-3:2018 塑料差示扫描量热法热性能测试
  • ASTM F1241-21 透明材料表面缺陷评级
国家标准:
  • GB/T 1800.1-2020 产品几何技术规范(GPS)尺寸公差
  • GB/T 223.5-2020 钢铁及合金化学分析方法元素测定
  • GB/T 19466.3-2020 塑料差示扫描量热法热分析
  • GB/T 9966.1-2020 天然石材试验方法表面质量检测
(方法差异说明:ISO 1101与GB/T 1800.1在公差等级划分上一致,但GB标准增加本土化应用指南;ASTM E1479采用ICP-OES技术,而GB/T 223.5优先使用XRF,导致元素检测限差异;ISO 11357-3热测试速率可调范围宽于GB/T 19466.3;ASTM F1241缺陷评级更细化表面参数,GB/T 9966.1侧重宏观缺陷统计。)

检测设备

1. 三坐标测量仪: Mitutoyo CRYSTA-Apex S574(精度±0.5μm,量程500mm)

2. 电感耦合等离子体光谱仪: PerkinElmer Avio 550(检测限0.1ppm,波长范围165-900nm)

3. 热膨胀仪: Netzsch DIL 402 Expedis(温度范围-180°C至2000°C,分辨率0.05μm)

4. 分光光度计: Shimadzu UV-2600i(波长范围185-3300nm,精度±0.1%)

5. 万能材料试验机: Instron 5969(载荷范围0.02-50kN,精度±0.5%)

6. 表面粗糙度仪: Taylor Hobson Surtronic S-100(Ra分辨率0.001μm,量程350μm)

7. 金相显微镜: Olympus BX53M(放大倍率50-1000x,数字成像5MP)

8. 介电强度测试仪: Chroma 19032(电压范围0-100kV,精度±1%)

9. 腐蚀试验槽: Lab Companion CCT-1000(温度控制±1°C,溶液容量10L)

10. 紫外老化箱: Q-Lab QUV/spray(辐照度0.5W/m²,温度范围40-80°C)

11. X射线衍射仪: Rigaku SmartLab(角度范围0-160°,精度0.001°)

12. 真空检漏仪: Pfeiffer Vacuum ASM 340(灵敏度10⁻⁹ mbar·L/s,压力范围0.1-1000mbar)

13. 热重分析仪: TA Instruments TGA 550(温度范围室温至1500°C,精度±0.1μg)

14. 冲击试验机: Tinius Olsen Impact 104(能量范围0.5-50J,速度3m/s)

15. 生物相容性测试系统: Biotek Cytation 5(细胞培养监测,温度控制±0.5°C)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

本文链接:https://www.yjser.com/huanjingjiance/20654.html

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