因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.极限真空度：测量设备在稳定状态下的最低压力值，通常要求≤110^-5Pa。
2.泄漏率测试：评估系统密封性能，标准泄漏率≤110^-9mbarL/s。
3.抽气速率验证：测定单位时间内气体排出量，常规参数≥500m/h。
4.系统恢复时间：从大气压降至目标真空度的耗时阈值＜30分钟。
5.耐压强度试验：验证腔体结构稳定性，耐压值≥0.6MPa。

检测范围

1.金属密封件：包括不锈钢法兰、铝合金腔体等高精度加工部件。
2.橡胶密封圈：氟橡胶、丁腈橡胶等材料的弹性与耐老化性能评估。
3.真空镀膜设备：光学镀膜机、磁控溅射设备的真空维持能力检测。
4.半导体制造设备：化学气相沉积（CVD）系统、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的真空性能验证。
5.医疗真空设备：负压吸引装置、灭菌柜的真空生成系统合规性测试。

检测方法

1.ASTME493-2016：采用氦质谱法进行静态升压法泄漏率测试。
2.ISO21360-1:2019：通过全压力范围校准法测定极限真空度。
3.GB/T3163-2007：使用标准流量计法验证抽气速率参数。
4.GB/T32211-2015：基于差压法的耐压强度试验规程。
5.ISO1608-1:2020：规定旋片泵与罗茨泵的抽速测量方法。

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪：用于残余气体成分定量分析，分辨率达0.1ppm。
2.INFICONUL1000Fab氦质谱检漏仪：灵敏度110^-12mbarL/s，支持自动化扫描。
3.LeyboldPHOENIXL300检漏仪：集成双通道传感器，覆盖10^-4至10^-12mbarL/s量程。
4.PfeifferVacuumHLT260检漏系统：配备四极杆质谱计，适用于复杂管路网络检测。
5.EdwardsSTP-A4503分子泵组：极限真空度达510^-7Pa，支持连续负载测试。
6.MKSInstruments925B电容薄膜规：量程0.001至1000Torr，精度0.12%读数。
7.VarianSH-110机械泵组：基础压力＜110^-2mbar，抽速11m/h。
8.CanonANELVAMRH-2000残余气体分析仪：质量数范围1-200amu，检出限＜510^-14Torr。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。