因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.表面粗糙度：Ra值范围0.01-0.1μm（ISO4287），Rz值不超过0.5μm
2.平面度误差：允许偏差0.3μm/m（ISO1101）
3.反射率均匀性：波长400-700nm范围内偏差≤2%（ASTME430）
4.波纹度分析：空间波长0.1-10mm波段内振幅＜λ/20（ISO10110-5）
5.微观缺陷密度：每平方厘米划痕≤3条（MIL-PRF-13830B）

检测范围

1.高精度光学元件：包括激光反射镜、分光棱镜等熔融石英制品
2.半导体晶圆：12英寸硅片表面平整度验证
3.精密模具：注塑模具镜面抛光区域（VDI3400标准）
4.航天器窗口材料：蓝宝石/硫化锌复合光学窗口
5.MEMS器件：微机电系统硅基结构表面

检测方法

1.白光干涉法：依据ISO25178进行三维形貌重建
2.激光共聚焦显微术：按GB/T29531-2013执行亚微米级测量
3.相位偏折术：采用ASTME284标准进行大曲率表面分析
4.接触式轮廓扫描：符合ASMEB46.1表面纹理标准
5.傅里叶变换红外光谱：参照GB/T6040-2002检测膜层均匀性

检测设备

1.ZygoNewView9000：三维光学轮廓仪，垂直分辨率0.1nm
2.MitutoyoSurftestSJ-410：接触式粗糙度仪，探针半径2μm
3.BrukerContourGT-X8：白光干涉测量系统，最大扫描范围100mm
4.KeyenceVK-X3000：激光共聚焦显微镜，20481536像素CCD
5.TaylorHobsonPGI1240：轮廓测量仪，Z轴行程120mm
6.OlympusOLS5000：激光显微系统，405nm波长光源
7.JenoptikWaveline：相位偏折仪，测量精度λ/50
8.NikonEclipseL200N：金相显微镜搭配DIC微分干涉组件
9.Agilent5500AFM：原子力显微镜，XYZ扫描范围90μm90μm7μm
10.OptofluxNIR-CAM：近红外热成像系统（3-5μm波段）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。