因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.气密性检测：泄漏率≤110^-9Pam/s（氦检法），保压测试24小时压降≤5%
2.真空度验证：极限真空≤510^-6Pa（冷态），工作真空≤110^-3Pa（动态）
3.泄漏率定量：局部漏点定位精度0.1mm/s（示踪气体法）
4.材料放气率：不锈钢≤110^-11Pam/(scm)，橡胶密封件≤510^-10Pam/(scm)
5.温度均匀性：工作区温差≤2℃（-50℃~300℃工况）

检测范围

1.半导体制造用分子泵组集成抽气系统
2.航天器热真空试验舱体组件
3.高能物理粒子加速器真空管道
4.光学镀膜设备真空腔体
5.医疗灭菌设备负压维持系统

检测方法

1.ASTME493-2016氦质谱累积法测定泄漏率
2.ISO3529:2020真空技术术语与测量规范
3.GB/T34325-2017真空技术材料放气率测试方法
4.ASTME2936-13(2020)四极质谱残余气体分析规程
5.GB/T3163-2019真空计校准规范

检测设备

1.ZQJ-530D氦质谱检漏仪：灵敏度110^-13Pam/s
2.ZDF-5227复合真空计：量程10^5~10^-8Pa
3.HPR-60四极质谱仪：质量数1-300amu
4.TTR-2030热流法放气率测试系统：控温精度0.5℃
5.LACO-VAC2000激光辅助漏点定位仪：空间分辨率0.01mm
6.FLUKE-725Ex防爆型压力校验仪：精度0.025%FS
7.TESTO-480红外热像仪：热灵敏度≤0.03℃
8.AGILENT-5977B气相色谱质谱联用仪：检出限ppb级
9.MKS-925型电容薄膜规：长期稳定性0.15%/年
10.INFICON-TLD3000涡轮分子泵组：极限真空510^-8mbar

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。