因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.束流稳定性：测量30分钟持续工作期间束流波动值（0.5%以内）
2.聚焦电压精度：验证0.1-30kV范围内电压偏差（≤0.1V）
3.发射电流密度：测试钨阴极在1800K工作温度下的发射能力（≥5A/cm）
4.阴极寿命评估：连续工作模式下寿命测试（≥1000小时）
5.真空度维持能力：高真空环境维持测试（≤110^-5Pa）

检测范围

1.半导体材料表面改性层
2.金属薄膜导电层（厚度50-500nm）
3.纳米级硬质涂层（TiN/TiAlN系）
4.陶瓷基板微电路结构
5.高分子聚合物表面金属化处理

检测方法

1.ASTME3070-16《电子枪系统性能测试标准》
2.ISO16700:2016《微束分析-扫描电镜校准方法》
3.GB/T23414-2009《微束分析扫描电子显微镜方法通则》
4.GB/T35033-2018《电子光学仪器真空系统测试方法》
5.ISO21363:2020《纳米技术-透射电镜样品制备》

检测设备

1.JEOLJSM-IT800扫描电子显微镜（分辨率0.8nm@15kV）
2.Keithley2636B源测量单元（电流分辨率10fA）
3.AgilentUHV-Std真空计（量程110^-10至1000Pa）
4.OmicronEFM300电子光学模拟系统（场分布建模）
5.ThermoScientificNORANSystem7能谱仪（元素分析精度0.1wt%）
6.PfeifferHIPACE700分子泵组（抽速700L/s）
7.KeysightB2902A精密电源（电压分辨率1μV）
8.BrukerDektakXT轮廓仪（垂直分辨率0.1）
9.OxfordInstrumentsAZtecLiveEDS系统（面分布分析）
10.HamamatsuFPMD-C007束流监测器（响应时间10ns）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。