因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.电子密度测量：范围110^15-110^19m^-3，误差≤5%
2.离子温度分析：典型值0.5-20eV，分辨率0.1eV
3.等离子体电位检测：量程-50V至+200V
4.能量分布函数测定：能量分辨率0.5%FWHM
5.辐射光谱特性：波长范围200-1100nm

检测范围

1.半导体晶圆及刻蚀工艺腔体
2.航天器热防护涂层材料
3.核聚变装置第一壁材料
4.光学镀膜组件（AR/IR涂层）
5.医疗灭菌设备等离子体源

检测方法

1.ASTME756-05(2020)等离子体密度测量规范
2.ISO21237:2019低温等离子体诊断技术导则
3.GB/T39218-2020等离子体发射光谱分析方法
4.IEC62855:2014核聚变装置等离子体诊断系统
5.JJF1826-2020Langmuir探针校准规范

检测设备

1.HidenESPionLangmuir探针系统：实时测量电子温度/密度
2.OceanOpticsHR4000光谱仪：200-1100nm光谱采集
3.KeysightN9030B信号分析仪：射频功率特性测试
4.StanfordResearchSystemsSR570电流放大器：弱电流信号处理
5.ThermoScientificiCAPRQICP-MS：痕量元素成分分析
6.KLASurscan850缺陷检测仪：表面形貌变化监测
7.PfeifferVacuumHPT200质谱仪：残余气体成分鉴定
8.FlukeTi450红外热像仪：温度场分布成像

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。