因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.表面氧含量测定：检测范围0.1-1000ppm，分辨率0.05ppm

2.金属杂质浓度分析：涵盖Al、Fe、Cu等18种元素，检出限0.01μg/g

3.有机污染物总量：测量范围1-500ng/cm，RSD≤3%

4.晶体结构缺陷密度：最小识别尺寸10nm，精度0.5%

5.界面结合强度测试：载荷范围0.1-50N，位移分辨率0.1μm

检测范围

1.半导体材料：硅晶圆、GaN衬底、碳化硅外延片

2.高分子聚合物：医用级PE/PP、工程塑料PEEK/PTFE

3.金属合金：钛合金TC4、镍基高温合金Inconel718

4.陶瓷基复合材料：氧化铝增强型、碳化硅纤维预制体

5.光学镀膜元件：AR增透膜、ITO导电玻璃

检测方法

1.ASTME1252-17：红外光谱法测定表面有机污染物

2.ISO18114:2021：二次离子质谱定量分析标准

3.GB/T17359-2020：电子探针微量成分分析方法

4.ASTMF1710-08(2020)：晶圆表面金属污染测试规程

5.ISO14706:2014：表面元素分析的TXRF方法

检测设备

1.ThermoScientificNicoletiS50FT-IR光谱仪：配备ATR附件进行有机物快速筛查

2.Agilent7900ICP-MS：多元素同步分析系统（质量数范围7-270）

3.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：峰值力轻敲模式表面形貌表征

4.ShimadzuEDX-8000能量色散X射线荧光仪：配备3D偏振光学系统

5.PerkinElmerNexION350D电感耦合等离子体质谱仪：三重四极杆设计消除质谱干扰

6.ZeissCrossbeam550聚焦离子束电镜：纳米级截面制备与分析系统

7.KLASurfscanSP7无图形晶圆缺陷检测仪：65nm灵敏度颗粒检测

8.ULVACPHIQuantes电子能谱仪：单色化AlKαX射线源（1486.6eV）

9.WatersXevoTQ-S液质联用仪：配备StepWave离子导向技术

10.HitachiSU9000冷场发射电镜：分辨率0.4nm@15kV（STEM模

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。