因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.条纹间距测量：分辨率0.1μm~500μm范围，精度0.05μm@10X物镜
2.条纹宽度分析：测量范围0.05μm~200μm，重复性误差≤1%
3.深度轮廓表征：垂直分辨率1nm~50μm，Z轴线性度0.8%
4.表面粗糙度评估：Ra/Rz参数测量范围0.001μm~1μm
5.角度偏差测定：测量精度0.1~5，视场角覆盖5-170

检测范围

1.金属材料：铝合金阳极氧化条纹、钛合金激光刻蚀纹理
2.光学元件：衍射光栅周期结构、菲涅尔透镜环带
3.半导体材料：晶圆切割道形貌、MEMS器件微沟槽
4.复合材料：碳纤维编织层叠角度、陶瓷基体定向孔道
5.高分子薄膜：双向拉伸聚酯膜取向条纹、注塑件熔接线

检测方法

1.ASTME112-13晶粒度测定中的线性截距法
2.ISO4287:1997表面粗糙度轮廓法评定参数
3.GB/T10610-2009触针式表面粗糙度测量仪校准规范
4.ISO25178-602:2010非接触式三维表面形貌测量
5.GB/T13989-2018激光干涉仪校准条纹投影系统规程

检测设备

1.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：实现0.01nm纵向分辨的三维形貌重建
2.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：配备20~150物镜的快速全场测量系统
3.ZeissAxioCSM700共聚焦扫描模块：支持785nm激光的深沟槽测量
4.OlympusOLS5000激光显微系统：集成ASTME112专用分析软件包
5.MitutoyoQuickVisionProCNC影像仪：配置0.5μm级十字线激光扫描头
6.TaylorHobsonTalysurfCCILite非接触轮廓仪：垂直分辨率达0.01nm
7.NikonNEXIVVMZ-S6520数字显微镜：搭载15:1电动变倍光学系统
8.AliconaInfiniteFocusG5焦点变化测量系统：70倾斜测量能力
9.HitachiTM4000Plus桌面电镜：15kV加速电压下的快速成像方案
10.MarSurfCMExplorer接触式轮廓仪：标配金刚石测针的机械扫描系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。