因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.像场曲率半径偏差：测量实际曲率与理论值的偏离量，典型公差范围0.5mm⁻至2.5mm⁻

2.子午/弧矢方向畸变量：双轴畸变梯度分析，分辨率要求≤0.1μm/mm

3.离焦MTF衰减率：在30lp/mm空间频率下衰减阈值≤15%

4.场曲非对称度：全场域内最大偏差值≤λ/4（λ=632.8nm）

5.温度漂移系数：-40℃~85℃环境下曲率变化率≤0.002%/℃

检测范围

1.非球面光学镜头（直径Φ10-500mm）

2.CMOS/CCD图像传感器（像素尺寸0.5-10μm）

3.投影光刻系统（NA≥0.65）

4.显微镜物镜（放大倍率4X-100X）

5.激光扫描振镜系统（偏转精度≤5μrad）

检测方法

1.ASTME903-20《光学系统像场弯曲测试规程》规定干涉法基准流程

2.ISO9334:2019《光学元件波前畸变测量方法》定义Zernike多项式分解标准

3.GB/T9247-2008《光学仪器像面弯曲测试方法》明确网格投影法实施细节

4.ISO10110-5:2017《光学元件表面形状公差》规定曲率容差等级标注规则

5.GB/T26331-2010《光学系统调制传递函数测量方法》规范MTF测试条件

检测设备

1.ZYGOVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，PV精度λ/100，用于波前曲率分析

2.TriopticsImageMasterPro：MTF测量范围0-200lp/mm，支持离焦量自动补偿

3.OptikosLensCheck系列：可测Φ300mm镜头场曲，重复精度0.02%

4.4DTechnologyAccuFiz双波长干涉仪：温度稳定性0.001λ/℃，用于环境模拟测试

5.HamamatsuC10910D像面分析仪：20482048像素CCD，空间分辨率0.5μm/pixel

6.KeysightCary7000UMS：紫外-近红外全波段场曲测量（200-2500nm）

7.BrukerContourGT-K1白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，三维曲率重建

8.ThorlabsWFS-300波前传感器：Shack-Hartmann原理，采样率1kHz动态测量

9.MitutoyoMF-U1000超精密坐标机：XYZ轴定位精度0.25μm+L/500

10.OphirSpiriconM2-200光束分析仪：适用于激光系统场曲实时监测

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。