因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.真空度测量范围验证：测试量程覆盖110⁻⁵Pa至110Pa的线性响应能力
2.灵敏度校准：基于标准漏孔法测定最小可检漏率（≤110⁻⁹Pam/s）
3.线性度误差分析：在满量程20%-100%区间内误差≤1.5%FS
4.重复性测试：连续10次测量同一压力点的标准差＜0.8%
5.温度漂移特性：在-20℃至50℃环境温度下输出波动值≤0.5%/℃

检测范围

1.半导体制造用分子泵组真空监测系统
2.航天器热真空试验舱压力传感器阵列
3.高能物理实验用粒子加速器真空腔体
4.医疗灭菌设备压力控制模块
5.光伏镀膜生产线真空镀膜机组

检测方法

1.ASTME2971-22《StandardTestMethodforCalibrationofVacuumSensors》
2.ISO3567:2020《Vacuumgauges-Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge》
3.GB/T3163-2007《真空技术辐射式真空计校准规范》
4.JJG2024-2020《辐射式真空计检定规程》
5.DIN28416:2018《Vacuumtechnology-Acceptancespecificationsforionizationvacuumgauges》

检测设备

1.INFICONSRG-2辐射式真空计校准系统：具备双通道对比校准功能
2.AgilentUHV-24复合真空标准装置：量程覆盖510⁻⁰Torr至760Torr
3.LeyboldLAB-REF参考级电离规管组：不确定度＜0.6%
4.MKS925型自动校准工作站：支持ASTME2971全流程测试
5.PfeifferTPG262多功能测试仪：集成温度补偿算法
6.EdwardsSTP-300A标准漏孔装置：漏率范围110⁻至110⁻⁴Pam/s
7.CanonANELVAMRG-1000高精度微压发生器：分辨率达0.01%FS
8.VarianUHV-QC四极质谱联用系统：用于残余气体成分分析
9.ShimadzuGCMS-QP2020NX气相色谱质谱仪：有机污染物定量检测
10.Keysight34972A数据采集系统：同步记录32通道测试数据

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。