因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1. 平面度误差：采用最小二乘法评估表面轮廓偏差值（≤0.02mm/1000mm）

2. 表面粗糙度：Ra值测量范围0.01-25μm（取样长度0.08-8mm）

3. 平行度公差：基准面与测量面间距偏差（±0.005mm/m）

4. 局部凹陷深度：激光位移传感器检测微米级凹坑（分辨率0.1μm）

5. 热变形量：温度循环试验中平面波动量（ΔT=±50℃，精度±2μm）

检测范围

1. 金属板材：冷轧钢板（厚度0.5-20mm）、铝合金板（6061-T6/T651）

2. 光学元件：棱镜工作面（直径Φ10-500mm）、滤光片基板

3. 半导体晶圆：硅片（4-12英寸）、碳化硅衬底（Ra≤0.5nm）

4. 陶瓷基板：氧化铝基板（96%纯度）、氮化铝基板（热导率≥170W/m·K）

5. 高分子薄膜：PET基材（厚度12-250μm）、PI柔性电路板

检测方法

1. ISO 12781-2011《几何产品规范(GPS) 平面度》定义接触式测量规程

2. ASTM D7127-17采用白光干涉仪进行非接触式粗糙度分析

3. GB/T 11337-2004规定平台平板比对法的实施条件与数据处理

4. ISO 25178-2:2022建立基于激光扫描的数字化表面特征评价体系

5. GB/T 29531-2013明确花岗岩基准平台等级划分（00级精度≤1.5μm/m²）

检测设备

1. Hexagon Global Classic 07.10.07三坐标测量机：空间精度(1.9+3L/1000)μm

2. Taylor Hobson Form Talysurf i系列轮廓仪：Z轴分辨率0.8nm

3. Renishaw XL-80激光干涉仪：线性测量精度±0.5ppm

4. Mitutoyo SJ-410表面粗糙度仪：最大驱动速度0.5mm/s

5. Zygo NewView 9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm

6. Keyence LJ-V7000线激光传感器：采样频率64kHz

7. ZeGage Plus光学平面仪：重复性精度0.015μm

8. CMM Vision自动影像测量系统：双远心镜头畸变率＜0.03%

9 | Mahr Federal Millimar 1318电子水平仪：量程±500μm/m

10 | Starrett 98-6精密花岗岩平台：平面度公差0.0001英寸/平方英尺

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。