因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1. 扫描精度：测量X/Y轴位移偏差值（±0.1μm）

2. 重复定位精度：连续10次同点定位误差（≤±0.05μm）

3. 光斑均匀性：激光强度分布标准差（CV值≤3%）

4. 动态响应特性：阶跃信号响应时间（＜5ms）

5. 环境稳定性：温度（-20℃~60℃）/湿度（20%~90%RH）下的性能漂移量

检测范围

1. 半导体晶圆表面扫描系统

2. 高精度光学薄膜镀层设备

3. 微电子封装定位装置

4. 生物芯片成像平台

5. 航空航天精密部件测量仪

检测方法

1. ASTM E2848-19《激光扫描系统性能表征标准》

2. ISO 10110-7:2017《光学元件激光损伤阈值测试》

3. GB/T 13962-2009《光学仪器术语及定义》

4. GB/T 26184-2010《光电测量系统通用规范》

5. ISO 11145:2018《激光器参数测量方法》

检测设备

1. Zygo Verifire MST：激光干涉仪（波长632.8nm,精度λ/100）

2. Keysight N7788B：光波分析仪（波长范围1250-1650nm）

3. Renishaw XL-80：激光校准系统（线性测量精度±0.5ppm）

4. Ophir Spiricon SP928：光束质量分析仪（分辨率1920×1200）

5. Agilent 5530：动态校准仪（频率响应DC-10kHz）

6. Mitutoyo LH-600：高精度测长机（分辨率0.01μm）

7. Fluke 6100A：多轴运动控制器测试系统

8. Thermo Scientific CL-1000：温湿度循环试验箱

9. Bruker ContourGT-X3：白光干涉三维轮廓仪

10. Keyence VK-X3000：激光共聚焦显微镜（最大倍率15000×）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。