因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.面形误差（SurfaceFormError）：RMS值≤λ/20（λ=632.8nm）

2.曲率半径偏差（RadiusDeviation）：公差0.5%@R=100mm

3.厚度不均匀性（ThicknessVariation）：允许偏差≤3μm/100mm

4.角度偏离量（AngularDeviation）：轴向偏转≤2arcmin

5.局部波纹度（LocalWaviness）：空间波长0.1-10mm范围内振幅≤50nm

检测范围

1.光学玻璃及晶体材料（熔融石英、氟化钙等）

2.聚合物薄膜与柔性显示基材（PET、PI等）

3.金属精密冲压件（铜合金引线框架等）

4.碳纤维复合材料结构件（航空航天部件）

5.半导体晶圆（硅片、GaN衬底等）

检测方法

1.ASTMF534-18硅晶圆翘曲度测试标准

2.ISO10110-5:2015光学元件面形公差规范

3.GB/T11337-2004金属板材平面度测量方法

4.DINENISO25178-6:2010表面纹理三维测量规范

5.GB/T1800.2-2020产品几何技术规范(GPS)基础

检测设备

1.ZygoVerifire™HDX激光干涉仪：面形精度0.1nmRMS

2.TaylorHobsonPGI3D轮廓仪：Z轴分辨率1nm

3.KeyenceVR-5000三维扫描系统：测量速度10,000点/秒

4.MitutoyoCMMCrysta-ApexS：空间精度(1.9+3L/1000)μm

5.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm

6.NikonNEXIVVMZ-S2520影像测量仪：重复精度0.8μm

7.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：120nm横向分辨率

8.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：动态精度15μm+6μm/m

9.NewportRS4000光学平台：固有频率≥75Hz隔振系统

10.MalvernPanalyticalEmpyreanX射线衍射仪：应力分析精度10MPa

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。