因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.测量范围验证：110⁻⁵Pa至110⁻Pa全量程线性测试

2.线性度误差分析：≤3%FS（满量程）

3.零点漂移测试：8小时连续工作漂移量＜0.5%

4.响应时间测定：从10⁻⁴Pa到10⁻⁷Pa阶跃响应＜15s

5.重复性误差检验：同点三次测量偏差≤1.5%

检测范围

1.半导体制造PVD/CVD设备真空腔体

2.高能物理实验粒子加速器真空管道

3.航天器热真空试验舱压力监测系统

4.低温超导磁体杜瓦容器密封性验证

5.医用直线加速器波导窗真空维持装置

检测方法

ASTME595-07(2019)真空环境材料放气特性测试规范

ISO3567:2011真空计校准用标准系统构建要求

GB/T3163-2007真空技术术语与图形符号

GB/T6070-2007真空计校准方法通则

ISO1608-2:2020冷阴极电离真空计特性测试程序

检测设备

1.INFICONCC-10全自动校准系统：覆盖110⁻至510⁻Torr量程

2.LeyboldCTR90涡轮分子泵组：极限真空510⁻⁰mbar

3.AgilentUHV-24多通道控制器：支持8路规管同步采集

4.PfeifferTPG262复合真空计：兼具皮拉尼与冷阴极双模式

5.MKS925B超高真空校准室：配备四级质谱分析模块

6.EdwardsSTP-4503氦质谱检漏仪：灵敏度达510⁻Pam/s

7.VarianUHV-24N数字控制器：0.25%读数精度显示单元

8.CanonANELVAMR-200磁悬浮转子规：参考级压力标准

9.KurtJ.LeskerPDR2000数据记录系统：24位AD采样模块

10.ShimadzuGP-100R残余气体分析仪：质量数1-100amu扫描

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。