因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.分辨率测试：最小可识别线宽≤0.5μm（基于ISO12233标准）

2.光斑均匀性：能量分布偏差≤3%（ASTME1331）

3.波长精度：误差范围0.5nm（GB/T26599-2011）

4.重复定位精度：X/Y轴偏差≤1μm（ISO9283）

5.动态响应范围：灰度级≥16bit（IEC62676-5）

6.热稳定性：温漂系数≤0.01%/℃（GB/T2423.22）

检测范围

1.光学玻璃基板（折射率1.45-1.90）

2.半导体晶圆（直径200-300mm）

3.金属薄膜涂层（厚度50nm-5μm）

4.聚合物光栅结构（周期200-1000nm）

5.MEMS微机电元件（特征尺寸≥0.2μm）

6.生物医学传感器芯片（PDMS/硅基材质）

检测方法

1.ASTME1331-15：激光光斑均匀性测试规程

2.ISO11146-1:2021：激光束宽度与发散角测量方法

3.GB/T26189-2010：光学系统分辨力测定通用方法

4.ISO13694:2018：激光辐射功率密度分布测试

5.GB/T16857-2008：坐标测量机性能评定规范

6.IEC60825-1:2014：激光产品安全等级分类标准

检测设备

1.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：三维形貌分析（Z轴分辨率1nm）

2.OphirSP928积分球光谱仪：波长测量范围190-2500nm

3.ThorlabsBP209-IR2光束分析仪：支持532-1550nm波段

4.ZeissAxioImager.M2m金相显微镜：配备20x-100x平场物镜

5.NewportM-UTM50微型精密位移台：重复定位精度0.1μm

6.HamamatsuC13440GA数字相机：量子效率＞80%@400nm

7.Agilent8163B光波万用表：功率测量精度0.02dBm

8.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：横向分辨率120nm

9.PIP-616纳米定位器：闭环控制分辨率0.03nm

10.MalvernPanalyticalMastersizer3000：粒径分析范围10nm-3mm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。