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因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
1.键合点尺寸测量:直径公差2μm,高度公差1.5μm
2.剪切强度测试:最小分辨率0.1N,测试速度0.01-5mm/s
3.表面形貌分析:粗糙度Ra≤0.05μm,三维轮廓重建精度10nm
4.元素成分分析:EDS能谱分辨率≤129eV,检测限0.1wt%
5.界面缺陷检测:X射线分辨率≤1μm,断层扫描层厚0.5μm
1.微电子封装金线键合点(直径15-50μm)
2.功率器件铜带键合界面(厚度100-300μm)
3.MEMS器件铝焊盘键合结构(尺寸200200μm)
4.倒装芯片锡球凸块(直径80-150μm)
5.射频模块金锡共晶焊点(厚度10-25μm)
ASTMF72-04(2016):贵金属丝拉伸强度测试标准
ISO22498:2020:电子组件X射线检测通用要求
GB/T35031-2018:微电子器件键合强度试验方法
JESD22-B116A:半导体器件剪切试验标准
IPC-7095D:倒装芯片及晶圆级封装设计实施指南
1.HitachiSU5000场发射扫描电镜:5nm分辨率EDS系统
2.NordsonDAGEXD7600NT焊接强度测试仪:最大载荷500kgf
3.BrukerContourGT-X3光学轮廓仪:垂直分辨率0.01nm
4.ThermoFisherScios2DualBeamFIB-SEM:离子束加工精度5nm
5.YXLONFF35CTX射线检测系统:3μm体素分辨率
6.KeysightNanoIndenterG200:动态模量测量范围0.01-500GPa
7.OxfordInstrumentsAztecEnergyEDS:50mm硅漂移探测器
8.MitutoyoLSM-1200激光共聚焦显微镜:12000光学放大倍率
9.Instron6800系列万能试验机:0.4级测力精度
10.ZeissAxioImager.M2m金相显微镜:微分干涉对比功能
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
北京前沿科学技术研究院
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