因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.极限真空度测试：测量泵体在稳定运行状态下能达到的最低压力值（通常要求≤110^-5Pa）

2.抽气速率测定：在入口压力10^-2-10^-4Pa范围内测试单位时间气体排出量（基准值1000-5000L/s）

3.加热功率验证：检测加热器在额定电压下的功率偏差（允许误差5%）

4.返油率分析：通过质谱法测定逆向油蒸气流量（标准限值≤10^-6g/cm²min）

5.密封性检测：氦质谱检漏仪测试整体泄漏率（验收标准≤110^-9Pam³/s）

检测范围

1.半导体制造用高纯硅片处理设备配套汞扩散泵

2.光学镀膜系统配套多层结构汞扩散泵组

3.真空冶金炉专用高温型汞扩散泵系统

4.航天器地面模拟舱用大抽速汞扩散泵阵列

5.科研级超高真空分析仪器配套微型汞扩散泵

检测方法

ASTME595-2018《真空材料总质量损失与挥发物测试》

ISO21360-3:2019《真空泵性能测量方法-第3部分：机械增压泵与扩散泵》

GB/T3163-2007《真空技术术语》第4.2.7节扩散泵性能测试规范

GB/T32294-2015《真空设备漏率检验方法》第5章氦质谱检漏法

ISO1608-2:2020《蒸汽流真空泵性能特性的测定-第2部分：临界前级压力测定》

检测设备

1.Agilent5977BMSD气相色谱-质谱联用仪：用于残留气体成分分析（质量范围1-1050amu）

2.INFICONHPSRGA300四极杆残余气体分析仪：实时监测真空系统内气体分压（灵敏度10^-14Torr）

3.LeyboldPHOENIXL300i氦质谱检漏仪：最小可检漏率510^-13mbarL/s

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。