因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.电子密度：测量范围110^15~110^20m^-3，精度5%

2.电子温度：检测区间0.5~50eV，分辨率0.1eV

3.离子种类浓度：涵盖H+、Ar+、O+等20种离子组分

4.电离度分布：空间分辨率达0.1mm

5.杂质元素含量：检出限低至0.01ppm（He背景）

检测范围

1.半导体制造用等离子体刻蚀气体（CF4/O2/Ar混合体系）

2.航天器推进剂电离羽流（氙气/氪气工质）

3.核聚变装置约束等离子体（D-T燃料体系）

4.等离子体医疗设备放电气体（He/O2/N2混合介质）

5.高功率激光诱导击穿气体（空气/稀有气体环境）

检测方法

1.ASTME2857-21：微波干涉法测定电子密度标准方法

2.ISO18117:2022质谱法分析电离气体组分技术规范

3.GB/T39139.2-2020光谱法测量等离子体参数通用要求

4.ASTME3023-18Langmuir探针诊断技术实施规程

5.GB/T40267-2021激光诱导击穿光谱法元素分析标准

检测设备

1.KeysightN5247B矢量网络分析仪：微波干涉法核心设备，频率范围10MHz-67GHz

2.HidenESPion系列Langmuir探针系统：空间分辨率50μm，电流测量精度0.1nA

3.OceanOpticsHR4000高分辨率光谱仪：光学分辨率0.02nm（FWHM@532nm）

4.StanfordResearchSystemsSR570低噪声电流放大器：增益范围10^3~10^12V/A

5.ThermoScientificiCAPRQICP-MS：检出限达ppt级元素分析能力

6.ImpedansALPHA探针阵列：8通道同步采集系统

7.HamamatsuC10910-01光电倍增管：波长范围185-900nm

8.Agilent8860GC-MS联用系统：气体成分定性定量分析

9.TektronixMSO64B示波器：带宽6GHz，采样率25GS/s

10.PfeifferVacuumHiQuad系列质谱仪：质量数范围1-200amu

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。