因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1.成分分析：固含量（±0.5%）、金属离子含量（≤1ppb）、溶剂残留（GC-MS定量）

2.粘度特性：动态粘度（25℃±0.1℃，10-500cP）、触变指数（TI≥1.2）

3.膜厚均匀性：厚度偏差（≤±3%，@300nm）、表面粗糙度（Ra≤0.5nm）

4.光敏性能：曝光能量阈值（10-50mJ/cm²）、显影对比度（γ≥3）

5.热稳定性：玻璃化转变温度（Tg≥150℃）、热分解温度（Td≥300℃）

检测范围

1.i-line/g-line光刻胶：适用于0.35μm以上制程

2.KrF准分子激光光刻胶：248nm波长制程专用

3.ArF干式/浸没式光刻胶：193nm高分辨率材料

4.EUV极紫外光刻胶：13.5nm波长先进制程

5.电子束光刻胶：包含PMMA、HSQ等特殊树脂体系

检测方法

1.ASTMD5145-2018紫外固化材料固化度测试

2.ISO1463-2021金属镀层厚度测量法

3.GB/T22232-2008化学试剂折光率测定

4.SEMIP35-1109光刻胶膜厚测试规范

5.JISK5600-5-7涂膜耐化学试剂试验法

6.GB/T1733-1993漆膜耐湿热测定法

检测设备

1.FilmetricsF40膜厚测量仪：光谱反射法测厚（1nm分辨率）

2.MalvernKinexusPro+流变仪：动态粘度及触变性分析

3.ThermoScientificNicoletiS50FTIR：官能团定性分析

4.HitachiSU9000场发射电镜：纳米级表面形貌观测

5.Agilent7900ICP-MS：痕量金属元素检测（ppt级）

6.TAInstrumentsQ600SDT：同步热分析（TGA/DSC）

7.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：表面粗糙度测量

8.NikonMM-400测量显微镜：线宽临界尺寸(CD)分析

9.SUSSMicroTecACS200匀胶机：标准化涂覆工艺控制

10.OrielSol3A太阳模拟器：曝光能量精确校准系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。