因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

泄漏率测定：阈值范围1×10⁻⁶~1×10⁻¹² Pa·m³/s

系统本底噪声：≤5×10⁻¹³ Pa·m³/s

响应时间：T90≤3秒（氦气浓度变化0-90%）

最小可检漏率：≤1×10⁻¹² Pa·m³/s（标准模式）

重复性误差：RSD≤±5%（连续10次测试）

检测范围

高真空设备：分子泵腔体、镀膜机真空室

密封容器：核级阀门、航天燃料贮箱

半导体组件：晶圆反应腔、光刻机密封件

制冷系统：压缩机壳体、蒸发器管路

医疗器械：血液透析仪、人工心肺机管路

检测方法

ASTM E493-22：真空系统氦质谱泄漏测试标准方法

ISO 20485:2017：非破坏性试验-示踪气体泄漏检测法

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测

GB 4208-2017：外壳防护等级（IP代码）附录H氦检法

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备氦检规范

检测设备

Pfeiffer HLT 570：四极杆质谱仪，分辨率0.5amu，检出限5×10⁻¹³ mbar·l/s

Agilent 9790A：磁偏转质谱仪，动态范围10⁶，支持SNIFFER模式与真空模式切换

INFICON UL3000 Fab：集成自动校准模块，适用于半导体洁净室环境

Leybold Phoenix L300i：双通道检测系统，同步测量He/H₂混合气体

CPS ASM 340：便携式检漏仪，内置GPS定位与数据追溯功能

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。