因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

真空度维持能力：检测极限真空度≤5×10⁻⁶ Pa，泄漏率＜1×10⁻⁹ Pa·m³/s

束流稳定性：束流波动≤±0.5%，长期漂移量＜1%/8小时

能量均匀性：靶面能量分布偏差＜3%（ISO 12749-4）

热负载耐受性：最高工作温度800℃±10℃，冷却系统温控精度±1.5℃

二次电子抑制效率：背散射电子产额＜0.5%（ASTM E307）

检测范围

半导体晶圆（硅、GaAs、SiC等）

金属薄膜镀层（铜、铝、钼等，厚度0.1-5μm）

陶瓷基板（Al₂O₃、AlN、BeO等）

光学镀膜组件（SiO₂、TiO₂多层结构）

高分子复合材料（聚酰亚胺、PTFE基材）

检测方法

ASTM E307-22：电子束设备热效应测试规程

ISO 14644-8:2022：洁净环境粒子沉积速率测定

GB/T 12604.6-2021：无损检测术语-电子束检测

ISO 17560:2020：硅材料中杂质浓度深度剖析

GB/T 35092-2018：高真空设备漏率检测方法

检测设备

INFICON PCG3000：四极质谱仪，分辨率0.5 amu，检测限10⁻¹² mbar·L/s

Ophir EA-1000：电子束流分析仪，测量范围0.1-100 mA，精度±0.1%

FLIR A8xx系列：红外热成像系统，温度分辨率0.03℃，空间分辨率1.1 mrad

Keithley 2450：源表一体机，电压分辨率1μV，电流分辨率10fA

Agilent 8904A：残余气体分析系统，质量数范围1-300 amu，扫描速度5 spectra/s

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。