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硅基铁电微声学器件检测

原创版权 关键字:硅基铁电微声学器件测试周期,硅基铁电微声学器件测试案例,硅基铁电微声学器件测试标准 相关: 发布时间: 2025-03-10 17:02:22

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因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

铁电性能测试:剩余极化强度(Pr:0.1-30 μC/cm²)、矫顽场强(Ec:10-500 kV/cm)、疲劳特性(≥10⁹次循环)

压电系数检测:纵向压电常数d33(1-500 pm/V)、横向压电常数d31(-0.5至-200 pm/V)

介电特性分析:介电常数(εr:50-3000@1kHz)、损耗角正切(tanδ≤0.05@1MHz)

声表面波特性:声速(3000-6000 m/s)、机电耦合系数(K²:0.1-15%)、温度系数(TCF:-50至+50 ppm/℃)

微结构表征:薄膜厚度(50-2000 nm)、晶粒尺寸(10-500 nm)、界面粗糙度(Ra≤5 nm)

高频性能验证:S参数(S11≤-20dB@1-10GHz)、插入损耗(IL≤3dB)、Q值(≥1000@2GHz)

检测范围

锆钛酸铅(PZT)基薄膜器件:厚度100-500nm,用于MEMS超声换能器

氮化铝(AlN)压电薄膜:c轴取向度>95%,应用于5G射频滤波器

锆钛酸铅-氧化锌(PZT-ZnO)复合结构:叠层厚度比1:1至1:5,用于宽带声波器件

钪掺杂氮化铝(ScAlN)薄膜:Sc含量5-40%,面向高频体声波谐振器

铌酸锂(LiNbO3)单晶基片:128°Y切型,用于声表面波传感器

检测方法

铁电性能测试:ASTM E2100-18(动态电滞回线法)、GB/T 3389.1-2018(Sawyer-Tower电路法)

压电系数测量:ISO 17561:2020(激光干涉法)、GB/T 11309-2017(准静态d33测试)

介电谱分析:IEC 60250:1969(宽频介电谱)、GB/T 1409-2006(高频电容法)

声学参数检测:IEEE Std 176-1987(谐振反谐振法)、GB/T 32279-2015(激光超声法)

微观结构表征:ISO 21363:2020(TEM选区衍射)、GB/T 23414-2021(AFM表面形貌)

检测设备

Precision LC II铁电测试系统:支持±200V/10kHz驱动,精度±0.5nC,配备低温探台(-196℃~300℃)

Polytec MSA-600微系统分析仪:激光多普勒测振,位移分辨率0.1pm,频率范围DC-24MHz

Keysight E4990A阻抗分析仪:20Hz-120MHz,基本阻抗精度0.08%,支持3D阻抗图谱

Bruker Dimension Icon原子力显微镜:PeakForce Tapping模式,纵向分辨率0.1nm

Rohde&Schwarz ZNA43矢量网络分析仪:10MHz-43.5GHz,时域门控功能,动态范围140dB

Oxford Instruments Symmetry EBSD系统:配备CMOS探测器,空间分辨率<5nm,用于铁电畴取向分析

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

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中析研究所配方实验室提供科学的产品成分检测服务,主要包括产品或样品的组成成分、元素或原料等的成分含量的检测和分析。我们拥有先进的实验室设备和技术人员,能够根据客户的需求和要求,为其提供个性化的检测方案。我们的专家团队通过精密仪器和标准检测方法,对样品进行全面深入的检测分析,以确保分析结果的准确性和可靠性。
中析研究所农副产品实验室提供多样化的服务范围,涵盖了蔬菜、瓜果、水产品、禽蛋、肉类及其制品、粮油及其制品、豆制品、熟食、调味品等农副产品的检测分析服务。我们拥有一流的实验室设备和强大的技术人员,可为客户提供全面的农副产品检测服务,包括生产环节中的农药残留、重金属、微生物污染及食品添加剂等问题的检测和分析。
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