因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

电子束能量稳定性检测：能量波动范围≤±0.5%（30-150 keV）

束流均匀性检测：径向偏差≤3%（束斑直径50-200μm）

真空兼容性检测：工作真空度≤5×10⁻⁴ Pa（含气体成分分析）

聚焦系统精度检测：聚焦误差≤0.1μm（200×200μm²扫描区域）

热负载耐受性检测：连续工作24小时温升≤15℃（最大功率20kW）

检测范围

半导体晶圆表面改性层（Si、GaAs、SiC）

金属薄膜镀层（Au、Cu、TiN，厚度50nm-5μm）

高分子材料交联处理层（PTFE、PEEK）

光学器件镀膜（SiO₂、TiO₂多层结构）

医疗器械生物涂层（羟基磷灰石、类金刚石膜）

检测方法

ASTM F1234-18：电子束能量分布测定法

ISO 5678:2021：真空系统气体残留量质谱分析法

GB/T 18907-2020：电子光学系统分辨率测试规范

ISO 21501-4：粒子计数器校准方法（适用束流密度检测）

GB 5162-2022：电子设备热稳定性试验规程

检测设备

XYZ-2000型电子束能量分析仪：能量分辨率0.1keV，量程10-200keV

ABC-5000四极质谱仪：检测灵敏度10⁻¹² Torr，质量数范围1-200 amu

EFG-7H高分辨率扫描电镜：分辨率0.8nm@15kV，配备EBSD分析模块

VAC-TR800真空度综合测试台：极限真空5×10⁻⁶ Pa，配备残余气体分析单元

ThermoScan XT热成像系统：温度分辨率0.02℃，采样率100Hz

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。