因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

测量范围验证：覆盖10

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灵敏度标定：基于恒压气体流量法，重复性误差≤±1.5% F.S.

零点稳定性测试：24小时无负载漂移量≤±0.5% F.S.

温度影响系数分析：-20°C~50°C温区内，示值偏差≤0.03%/°C

线性度误差检测：全量程内非线性度≤±2%（参考NIST 1600-2018标准）

检测范围

半导体制造设备：刻蚀机、离子注入机的真空腔室压力监测模块

光学镀膜装置：电子束蒸发镀膜机的真空系统传感器

航空航天材料：热真空试验箱用真空计计量单元

真空镀膜产品：磁控溅射镀膜设备压力反馈系统

科研仪器：同步辐射光源真空管道监测单元

检测方法

静态膨胀法（ISO 3567:2021）：通过标准容器分级降压，比对努森计与电容薄膜规的示值偏差

动态流量法（ASTM E2971-19）：采用分子泵组建立动态平衡，评估流量变化时压力响应时间≤0.1s

交叉校准法：联合四极质谱仪与电离规，验证10

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温度循环测试（MIL-STD-810H）：在温控箱内进行-40°C~+85°C极限温度下的零点漂移分析

检测设备

INFICON XTC-100校准仪：支持10

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Agilent 531系列真空计组：集成分子泵与涡旋干泵，实现1×10

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MKS 925B真空传感器阵列：配备Baratron电容规，提供±0.25%读数的基准压力值

Pfeiffer TPG 262测控单元：内置RS485通讯接口，实时记录温度-压力耦合数据

Leybold CDG025D参考传感器：基于微机械皮拉尼原理，用于10

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3

技术优势

CNAS认可实验室（注册号L1234）：通过ISO/IEC 17025:2017体系认证，检测报告国际互认

NIST可溯源标准器群：配备PTB认证的真空副基准装置，扩展不确定度≤0.8%（k=2）

多物理场耦合测试平台：集成温度、振动、电磁干扰综合测试能力，符合MIL-STD-461G要求

专业团队资质：检测人员持有ASQ CQT认证，年均完成超200例真空计量项目