因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

薄膜厚度检测：

• 涂层厚度测量：平均厚度（μm），均匀性偏差（≤±5%，参照ISO1463）
• 多层结构分析：各层厚度比（如TiN/Al2O3≥1:2），界面扩散深度（≤10nm）

• 划痕试验：临界载荷（Lc≥50N），剥落面积百分比（≤5%）
• 冲击试验：无裂纹冲击次数（≥1000次），涂层剥离阈值（参照ASTMD2794）

• 元素含量检测：碳含量（0.01-1.0wt%），氧杂质（≤500ppm）
• 化学计量比：化合物比例（如Ti:C≥1:1），掺杂浓度偏差（±0.05at%）

• 粗糙度参数：算术平均粗糙度Ra（≤0.1μm），峰值高度Rz（≤1.0μm）
• 缺陷密度：针孔数量（≤5个/cm²），划痕长度（≤10μm）

• 硬度检测：维氏硬度（HV≥1500），纳米压痕模量（≥300GPa）
• 耐磨性：磨损率（≤10⁻⁶mm³/N·m），摩擦系数（0.1-0.5）

• 盐雾试验：腐蚀时间（≥100小时），失重率（≤0.1mg/cm²）
• 电化学阻抗：极化电阻（≥10⁵Ω·cm²），腐蚀电流密度（≤10⁻⁸A/cm²）

• 透射率/反射率：可见光波段透射率（≥90%），红外反射率（≥95%）
• 折射率测量：折射率偏差（±0.01），消光系数（≤0.001）

• 电阻率：薄膜电阻（0.01-100Ω·cm），方块电阻均匀性（≤±3%）
• 介电特性：介电常数（2-10），损耗角正切（≤0.01）

• 热循环测试：循环次数（≥1000次无开裂），热膨胀系数匹配（≤±1ppm/K）
• 高温氧化：氧化增重（≤0.01mg/cm²），相变温度（≥500°C）

• 生物相容性：细胞毒性等级（0级，参照ISO10993），抗菌率（≥99%）
• 防污性能：接触角（≥150°），自清洁效率（≥95%）

检测范围

1.半导体晶圆涂层：涵盖硅基、砷化镓等材料，重点检测薄膜厚度均匀性和界面电学性能稳定性。

2.切削工具硬质涂层：如TiN、DLC薄膜，侧重硬度和耐磨性检测以确保刀具寿命。

3.光学镜头镀膜：包括增透膜、反射膜，核心检测透射/反射率精度和表面缺陷控制。

4.太阳能电池电极层：侧重电学性能如电阻率均匀性和耐候性测试。

5.医疗器械生物涂层：如羟基磷灰石薄膜，重点检测生物相容性和抗菌性能。

6.航空航天热障涂层：含氧化锆基材料，核心评估热循环稳定性和抗氧化性。

7.电子显示面板薄膜：ITO等透明导电层，检测电导率和光学均匀性。

8.汽车零部件耐磨层：如活塞环涂层，侧重磨损率和附着力测试。

9.建筑玻璃功能膜：低辐射涂层，重点检测隔热效率和耐久性。

10.包装材料阻隔层：如氧化硅薄膜，核心检测氧气透过率（≤0.1cc/m²·day）和水蒸气阻隔性。

检测方法

国际标准：

• ASTMB748-90(2020)薄膜厚度测量标准方法
• ISO26423:2019薄膜附着力划痕试验规范
• ISO1463:2021表面轮廓法厚度测试
• ASTMG99-17耐磨性试验程序
• ISO9227:2022盐雾腐蚀试验标准

• GB/T17743-2021薄膜成分分析通用方法
• GB/T12345-2020表面粗糙度测试技术规范
• GB/T10125-2021人造气氛腐蚀试验盐雾法
• GB/T31982-2020透明涂层光学性能测试
• GB/T33820-2017薄膜电学性能测量标准

检测设备

1.扫描电子显微镜：FEIQuanta650型（分辨率1.0nm，加速电压0.5-30kV）

2.原子力显微镜：BrukerDimensionIcon型（扫描范围100μm，Z轴分辨率0.1nm）

3.台阶仪：KLATencorP-17型（垂直分辨率0.1Å，扫描精度±0.5%）

4.万能材料试验机：Instron5967型（载荷范围0.01-50kN，位移精度±0.1μm）

5.纳米压痕仪：AgilentG200型（最大载荷500mN，模量范围1-1000GPa）

6.分光光度计：PerkinElmerLambda950型（波长范围190-3300nm，精度±0.08%）

7.四探针电阻测试系统：LucasLabsSYS-3020型（电阻测量范围10⁻⁵-10⁷Ω，温度控制-50-300°C）

8.盐雾试验箱：Q-LabCCT-1100型（温度范围15-50°C，喷雾量1.5mL/80cm²·h）

9.X射线衍射仪：RigakuSmartLabSE型（角度精度±0.0001°，检测限0.1wt%）

10.热分析系统：NetzschSTA449F3型（温度范围-150-2400°C，升温速率0.01-50K/min）

11.摩擦磨损试验机：BrukerUMTTriboLab型（载荷0.01-100N，转速0.1-2000rpm）

12.电化学工作站：GamryInterface1010E型（电流范围±1A，频率10μHz-1MHz）

13.光学轮廓仪：ZygoNewView9000型（垂直分辨率0.1nm，扫描速度5mm/s）

14.生物安全测试设备：ThermoScientific1500型（培养温度37±1°C，湿度控制95%）

15.气相色谱质谱联用仪：ShimadzuGCMS-QP2020NX型（检测限0.1ppb，分辨率0.1amu）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。