因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

薄膜厚度检测：

• 平均厚度测量：厚度范围0.1-100μm，均匀性偏差±5%（参照ISO 1463）
• 膜层分布分析：横向均匀性、纵向梯度（如梯度变化≤0.02μm/mm）

• 元素浓度检测：C、N、O杂质含量≤0.5at%，金属元素偏差±0.1wt%
• 杂质含量测试：氢含量≤50ppm，碳残留量测定（参照ASTM E1508）

• 附着力测试：划痕附着力等级1-5级（参照ASTM D3359），剥离强度≥10MPa
• 硬度检测：维氏硬度HV0.01-1000，显微硬度测量（如HV≥2000）

• 粗糙度分析：Ra值0.01-1.0μm，峰谷高度差（参照ISO 4287）
• 缺陷识别：针孔密度≤5个/cm²，裂纹长度≤10μm

• 透射率测量：可见光波段透射率≥90%，反射率偏差±2%
• 光学常数计算：折射率n=1.5-2.5，消光系数k≤0.01

• 电阻率测试：薄层电阻0.1-1000Ω/sq，导电率偏差±5%
• 介电常数评估：频率1MHz-1GHz，介电损耗≤0.01

• 热导率测量：0.1-100W/mK，热膨胀系数CTE≤10ppm/K
• 热稳定性测试：循环热冲击-50℃至300℃，无剥落

• 盐雾试验：耐盐雾时间≥500小时（参照ISO 9227），腐蚀速率≤0.01mm/年
• 化学稳定性：酸碱浸泡失重≤0.1mg/cm²

• 摩擦系数测量：干摩擦系数0.1-0.5，磨损率≤10⁻⁶mm³/Nm
• 磨耗试验：Taber磨耗循环≥1000次，失重≤1mg

• 细胞毒性测试：细胞存活率≥90%（参照ISO 10993），无刺激性
• 生物降解性：降解速率≤0.1%/月

检测范围

1. 半导体晶圆： 硅基、GaAs基薄膜，重点检测厚度均匀性和电学性能，确保集成电路可靠性

2. 切削工具涂层： 硬质合金刀具TiN、TiAlN涂层，侧重附着力、硬度和耐磨性，延长工具寿命

3. 光学镜片： 抗反射MgF₂、SiO₂薄膜，核心检测透射率、反射率和表面缺陷，优化成像质量

4. 装饰涂层： 手表、珠宝PVD涂层，重点测试颜色一致性、耐腐蚀性和附着力，提升美观耐久性

5. 医疗器械薄膜： 钛合金生物涂层，检测生物相容性、耐腐蚀性和表面清洁度，确保医疗安全

6. 汽车部件涂层： 发动机零件CrC、DLC薄膜，侧重耐磨性、热稳定性和盐雾耐性，增强性能

7. 航空航天热障涂层： YSZ、Al₂O₃薄膜，重点检测热导率、热循环稳定性和附着力，保障高温应用

8. 电子设备导电膜： ITO、ZnO透明电极，核心测试电阻率、透光率和均匀性，提升显示效率

9. 包装阻隔涂层： 塑料薄膜Al、SiOx涂层，检测氧气透过率≤0.1cc/m²/day，水汽阻隔性能

10. 太阳能电池薄膜： CdTe、CIGS吸收层，侧重元素浓度、电学性能和缺陷密度，优化转换效率

检测方法

国际标准：

• ISO 1463:2021 金属和非金属涂层厚度测量
• ASTM D3359-17 胶带法附着力测试
• ISO 4287:2020 表面粗糙度参数定义
• ASTM E1508-12 光谱化学分析标准
• ISO 10993-5:2021 医疗器械生物相容性测试

• GB/T 4956-2003 磁性基体非磁性涂层厚度测量
• GB/T 5210-2006 涂层附着力划格试验
• GB/T 10610-2009 表面粗糙度参数测量
• GB/T 223.5-2008 钢铁化学分析方法
• GB/T 16886.5-2017 医疗器械生物相容性评价

检测设备

1. 椭偏仪： J.A. Woollam M-2000型（波长范围190-1700nm，厚度精度±0.1nm）

2. X射线荧光光谱仪： Shimadzu EDX-8000（元素检测限0.01%，分辨率≤5eV）

3. 扫描电子显微镜： Hitachi SU5000（分辨率1.0nm，放大倍数20-800,000x）

4. 原子力显微镜： Bruker Dimension Icon（扫描范围100μm，分辨率0.1nm）

5. 显微硬度计： Mitutoyo HM-200（载荷0.01-1000g，精度±1%）

6. 划痕测试仪： CSM Revetest（载荷0-100N，临界载荷检测）

7. 紫外可见分光光度计： PerkinElmer Lambda 950（波长范围175-3300nm，透射率精度±0.1%）

8. 四探针电阻测试仪： Lucas Labs S302-4（电阻范围0.001-100kΩ，精度±0.5%）

9. 热导率测试仪： Netzsch LFA 467（温度范围-150-1000℃，精度±3%）

10. 盐雾试验箱： Q-Lab Q-FOG CCT（温度范围15-60℃，湿度控制±2%）

11. 摩擦磨损试验机： TE77 Plint Tribometer（载荷1-500N，速度0.01-1m/s）

12. 细胞培养检测系统： Thermo Scientific Cytation 5（细胞存活率分析，精度±2%）

13. 热膨胀系数仪： Netzsch DIL 402 Expedis（温度范围-180-1550℃，膨胀率精度±0.1μm/m）

14. 气体透过率测试仪： MOCON OX-TRAN 2/22（氧气透过率检测限0.005cc/m²/day）

15. 激光共聚焦显微镜： Keyence VK-X1000（3D表面重建，高度精度±0.01μm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。