因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

检测项目

1. 工艺化学品纯度分析：金属杂质离子浓度，阴离子浓度，总有机碳含量，颗粒物浓度。

2. 湿电子化学品分析：过氧化氢浓度，硫酸浓度，氢氟酸浓度，盐酸浓度，氨水浓度。

3. 清洗剂成分检测：表面活性剂浓度，螯合剂含量，有机溶剂残留，微粒子含量。

4. 光刻相关溶液分析：光刻胶固体含量，显影液碱浓度，抗反射涂层成分，边缘珠去除液浓度。

5. 蚀刻液组分监测：磷酸浓度，醋酸浓度，硝酸浓度，缓冲氧化物蚀刻剂配比。

6. 化学机械研磨浆料分析：研磨颗粒浓度，氧化剂含量，表面改性剂浓度，稳定剂含量。

7. 电镀液成分测试：主盐金属离子浓度，光亮剂含量，整平剂浓度，应力消除剂含量。

8. 掺杂源浓度测定：硼源浓度，磷源浓度，砷源浓度，扩散源纯度。

9. 气相沉积前驱体分析：金属有机化合物纯度，硅源气体浓度，掺杂剂气体含量，杂质气体分析。

10. 晶圆表面污染物检测：金属污染物浓度，有机污染物总量，氧化物厚度，离子残留量。

11. 高纯气体杂质分析：氮气中氧含量，氩气中水分，氢气中总烃，特种气体中颗粒物。

检测范围

硅抛光片、硅外延片、光刻胶、显影液、蚀刻液、清洗液、化学机械研磨浆料、铜电镀液、化学气相沉积前驱体、物理气相沉积靶材、高纯特种气体、去离子水、光掩模版、光刻胶稀释剂、剥离液、掺杂剂、晶圆背面涂层、封装用环氧模塑料、键合线、陶瓷封装基板

检测设备

1. 电感耦合等离子体质谱仪：用于超痕量金属杂质元素的定性与定量分析；具备极高的检测灵敏度与多元素同时分析能力。

2. 离子色谱仪：用于分析溶液中阴离子、阳离子及有机酸的浓度；适用于高纯水及工艺化学品中杂质离子的测定。

3. 总有机碳分析仪：用于测定水样或溶剂中总有机碳的含量；是评估高纯水及清洗液洁净度的重要指标。

4. 自动电位滴定仪：用于精确测定酸、碱、氧化剂、还原剂等溶液的浓度；分析结果准确度高，自动化程度好。

5. 紫外可见分光光度计：用于基于特定波长吸光度的浓度定量分析；适用于单一组分或稳定络合物浓度的快速测定。

6. 气相色谱仪：用于分离和测定混合气体或可挥发液体中的各组分浓度；配备多种检测器以满足不同分析需求。

7. 原子吸收光谱仪：用于测定特定金属元素的浓度；方法选择性好，适用于已知元素的标准定量分析。

8. X射线荧光光谱仪：用于对固体、液体样品进行无损的元素成分半定量或定量分析；制样简单，分析快速。

9. 激光颗粒计数器：用于在线或离线检测液体中微小颗粒的数量与粒径分布；是评估研磨浆料、高纯化学品洁净度的关键设备。

10. 傅里叶变换红外光谱仪：用于鉴定有机物官能团及进行定量分析；适用于检测表面有机污染物及部分溶液成分。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。